[发明专利]激光光束像散补偿方法、装置及存储介质

说明书

本发明涉及激光设备领域，公开了一种激光光束像散补偿方法、装置及存储介质，其方法包括：获取激光的第一质量数据；根据第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数；将像散补偿装置置入激光的光路，并根据第一设置参数设置像散补偿装置，以使激光穿过设置后的像散补偿装置，像散补偿装置包括具有一维扩束功能的棱镜片组；获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据；根据第二质量数据调节像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。本发明可以改善光路系统的像散问题，减少激光光束的像差。

技术领域

本发明涉及激光设备领域，尤其涉及一种激光光束像散补偿方法、装置及存储介质。

背景技术

在光路系统中，若存在明显的像散问题，则在离焦状态下，光斑呈椭圆形，光斑圆度较低，影响对入射光束尺寸严格要求的光束整形器的使用效果。而且，这种圆度较低的光斑往往并不是对称的，离焦相同距离的光斑的能量存在较大差异。对于多台面加工系统而言，这些像散问题会导致不同加工台面之间的加工效果产生较大的差异，严重影响加工质量。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种激光光束像散补偿方法、装置及存储介质，以改善光路系统的像散问题，减少激光光束的像差。

一种激光光束像散补偿方法，包括：

获取激光的第一质量数据；

根据所述第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数；

将所述像散补偿装置置入所述激光的光路，并根据所述第一设置参数设置所述像散补偿装置，以使所述激光穿过设置后的像散补偿装置，所述像散补偿装置包括具有一维扩束功能的棱镜片组；

获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据；

根据所述第二质量数据调节所述像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。

一种激光光束像散补偿装置，所述像散补偿装置包括棱镜片组、机械结构件以及镜片调节组件；

所述棱镜片组包括至少两片棱镜片，所述棱镜片组具有一维扩束功能；

所述机械结构件，用于安装所述棱镜片组；

所述镜片调节组件，用于根据第一设置参数设置所述棱镜片组的一维扩束方向；根据第二设置参数设置所述棱镜片组的扩束倍率和/或旋转角度；

其中，根据获取的激光的第一质量数据确定所述第一设置参数；

根据获取的穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据确定所述第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。

一个或多个存储有计算机可读指令的可读存储介质，所述计算机可读指令被一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行上述激光光束像散补偿方法。

上述激光光束像散补偿方法、装置及存储介质，通过获取激光的第一质量数据，以通过第一质量数据评估激光的质量。根据第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数，在此处，第一设置参数为像散补偿装置的粗调参数，该粗调参数与最佳参数的差距较小，有利于提高像散补偿装置的补偿效率，减少进行补偿的调节时间。将像散补偿装置置入激光的光路，并根据第一设置参数设置像散补偿装置，以使激光穿过设置后的像散补偿装置，像散补偿装置包括具有一维扩束功能的棱镜片组，以完成像散补偿装置的接入，并使第一设置参数生效。获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据，以通过第二质量数据评估激光补偿后的质量。根据第二质量数据调节像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求，在此处，通过第二设置参数的调节，可以使激光的光斑圆度达到最大。本发明可以改善光路系统的像散问题，减少激光光束的像差。

附图说明