[发明专利]一种防断棱的大尺寸单晶放肩方法在审
| 申请号： | 202110948047.0 | 申请日： | 2021-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN113684533A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 闫斌;王军磊;王艺澄 | 申请（专利权）人： | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 周琪 |
| 地址： | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防断棱 尺寸 单晶放肩 方法 | ||
1.一种防断棱的大尺寸单晶放肩方法，所使用的系统包括单晶炉操作系统，具体步骤如下，其特征在于，包括：
（1）放肩过程中，先设定一个基础拉速V0L；
（2）确定基础拉速V0L下对应的单晶直径设定变化速率V0d；
（3）通过单晶炉操作系统计算单晶直径在单位时间内的实际变化速率V实d；
（4）比较单晶直径的设定变化速率V0d与实际变化速率V实d的大小；
（5）当实际液温与标准液温保持一致时，单晶直径正常生长，即V0d=V实d，此时实际拉速V实L即为基础拉速V0L；
（（6）当实际液温变低时，单晶直径生长较快，即V实d＞V0d时，实际拉速V实L输出为基础拉速V0L与拉速调整量x之和；
（7）当实际液温变高时，单晶直径生长较慢，即V实d＜V0d时，实际拉速V实L输出为基础拉速V0L与拉速调整量x之差；
（8）根据步骤（5）~（7）中的不同情况，通过比较直径在单位时间内的实际变化速率V实d与设定变化速率V0d的偏差量，系统自行计算拉速调整量并对基础拉速进行实时调整。
2.根据权利要求1所述的防断棱的大尺寸单晶放肩方法，其特征在于：
所述步骤（1）~（8）中，基础拉速V0L为42mm/h时，对应的设定变化率V0d为0.2mm/s，此时拉速调整量x为3mm/h，拉速调整的上限值为1.2V0L、下限值为0.5V0L。
3.根据权利要求1所述的防断棱的大尺寸单晶放肩方法，其特征在于：
所述步骤（1）~（8）中，基础拉速V0L为45mm/h时，对应的设定变化率V0d为0.2mm/s，此时拉速调整量x为3mm/h，拉速调整的上限值为1.2V0L、下限值为0.6V0L。
4.根据权利要求1所述的防断棱的大尺寸单晶放肩方法，其特征在于：
所述步骤（1）~（8）中，基础拉速V0L为47mm/h时，对应的设定变化率V0d为0.2mm/s，此时拉速调整量x为5mm/h，拉速调整的上限值为1.2V0L、下限值为0.7V0L。
5.根据权利要求1所述的防断棱的大尺寸单晶放肩方法，其特征在于：
所述步骤（1）~（8）中，基础拉速V0L为49mm/h时，对应的设定变化率V0d为0.3mm/s，此时拉速调整量x为5mm/h，拉速调整的上限值为1.4V0L、下限值为0.7V0L。
6.根据权利要求1所述的防断棱的大尺寸单晶放肩方法，其特征在于：
所述步骤（1）~（8）中，基础拉速V0L为54mm/h时，对应的设定变化率V0d为0.45mm/s，此时拉速调整量x为10mm/h，拉速调整的上限值为1.8V0L、下限值为0.7V0L。
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