[发明专利]集中式复判系统及方法在审

专利信息
申请号: 202110943521.0 申请日: 2021-08-17
公开(公告)号: CN114076764A 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 邹嘉骏;王人杰;林伯聪;徐敏堂 申请(专利权)人: 由田新技股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 北京维澳专利代理有限公司 11252 代理人: 王立民;曾晨
地址: 中国台湾新北市中*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 集中 式复判 系统 方法
【说明书】:

发明公开了一种集中式复判系统及方法,集中式复判系统包括多个影像重制装置、一传输网络以及一复判平台。该影像重制装置个别地对应配置于多个复检设备终端上,其中任一个该影像重制装置对应地自任一个该复检设备终端上,以获取瑕疵位置影像。该传输网络系配置用于多个该影像重制装置的通信,以传输该瑕疵位置影像。该复判平台耦合至该传输网络,接收并分析自多个该影像重制装置所传送的该瑕疵位置影像,以产生一影像复检结果。本发明可以将多个复检设备终端的复检结果集中提供至复判平台由目检人员进行复检,有效的减少非必要的劳动成本并提升检测的效率。

技术领域

本发明涉及一种集中式复判系统及方法,特别是指一种用于瑕疵检测的集中式复判系统及方法。

背景技术

自动光学检查(Automated Optical Inspection,AOI),运用机器视觉做为检测标准技术,通过机器视觉取代传统人眼辨识以达到高精密度及高效率的检测,作为改良传统上以人力使用光学仪器进行检测的缺点,应用层面包括高科技产业的研发等领域。

一般通过机器视觉检查,比起人眼检测可以大幅度地增加检测的效率,然而,机器视觉仍然经常会发生误检或误判的情事。举例而言,于面板表面上的毛发、灰尘经常会被误判为面板上的刮痕或是噪点,因为在形态上与面板的瑕疵相当接近。基于上面的原因,为了降低误检、误判的机率,并提升产品的良率及产能,待测物被检出的瑕疵一般要再通过人眼进行一次复检,通过人眼再次确认待测物的瑕疵,以减少误宰(overkill)的可能性。

现行的光学检测设备(包括用于半导体、电路板(Printed Circuit Board, PCB)、面板等各段制程中的光学检测设备)都有搭配所谓的“复检设备”,其目的是将检测出来的缺陷影像,经由另一独立的显示设备(复判显示设备)显示给人员针对已检出或未检出的缺陷进行重复检查,作为复判之用。

然而,为了提升自动光学检测的检测效率,在同一个产在线进行自动光学检测的检测设备可能设置为多个,在这样的配置下,每一个检测设备支线都必须要由独立的目检人员经由复检设备进行检测,例如在设置有三个自动光学检测设备的情况下,至少也必须要配置三个目检人员配合三个复检站台个别进行目检复判,随着人力费用的提高,传统一人一机式的影像复判方法,对人力成本的耗费过高,无形中增加了劳动成本,因此有必要寻求降低成本的方法。

发明内容

本发明的主要目的,在于提供一种集中式复判系统,包括多个影像重制装置、一传输网络以及一复判平台。该影像重制装置个别地对应配置于多个复检设备终端上,其中任一个该影像重制装置对应地自任一个该复检设备终端上,以获取瑕疵位置影像。该传输网络系配置用于多个该影像重制装置的通信,以传输该瑕疵位置影像。该复判平台耦合至该传输网络,接收并分析自多个该影像重制装置所传送的该瑕疵位置影像,以产生一影像复检结果。

优选的是,该传输网络包括一有线/无线传输网络,配置用于多个该影像重制装置与该复判平台的通信。

优选的是,该复判平台包括:

一储存装置,用以储存多个该影像重制装置所传送的该瑕疵位置影像;以及

一判定装置,连接至该储存装置,用以影像分析该瑕疵位置影像,产生该影像复检结果。

优选的是,该判定装置包括一瑕疵复检装置及/或一类别复检装置,该瑕疵复检装置根据该瑕疵位置影像,判断待测物是否包括缺陷,以产生该影像复检结果,该类别复检装置根据该瑕疵位置影像,分类该待测物的缺陷类型,以产生该影像复检结果。

优选的是,该复判平台包括一调阅装置以及一结果呈现装置,该调阅装置提供操作接口及接口索引至该结果呈现装置,供用户调阅检测的结果或瑕疵信息。

优选的是,该复检设备终端包含:

一检测平台,用于承载待测物;

一复检摄影机,拍摄该检测平台上的该待测物;

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