[发明专利]一种磁流体密封轴

说明书

本发明公开一种磁流体密封轴，包括轴套和轴体，所述轴体安装于所述轴套，且所述轴体能够相对所述轴套进行转动，所述轴体与所述轴套之间设置有磁流体进行密封；还包括伸缩部件，所述伸缩部件包括伸缩轴，所述伸缩轴内置于所述轴体，并能够相对所述轴体进行伸出或者缩回。伸缩轴和轴体相互独立，轴体用于和轴套相配合以实现旋转密封，而伸缩轴则用于输出直线位移，使得轴体可以不参与直线位移的输出，这样，轴体与轴套之间的旋转密封不至于受到影响，而伸缩轴的引入则可以补充完善常规磁流体密封轴无法输出直线位移的缺陷；同时，伸缩轴采用内置于轴体的设计，可以避免对磁流体密封轴外部空间的占用，能够缩减设备的体积，并可提高设备的集成度。

技术领域

本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种磁流体密封轴。

背景技术

常规的磁流体密封轴仅能够实现旋转密封，但是，在某些特定的场景中，还希望磁流体密封轴能够输出直线位移，若直接为磁流体密封轴增设驱动机构，则会影响旋转密封的可靠性。

发明内容

本发明的目的是提供一种磁流体密封轴，可以在实现旋转密封的同时输出直线位移。

为解决上述技术问题，本发明提供一种磁流体密封轴，包括轴套和轴体，所述轴体安装于所述轴套，且所述轴体能够相对所述轴套进行转动，所述轴体与所述轴套之间设置有磁流体进行密封；还包括伸缩部件，所述伸缩部件包括伸缩轴，所述伸缩轴内置于所述轴体，并能够相对所述轴体进行伸出或者缩回。

采用上述结构，伸缩轴和轴体相互独立，轴体用于和轴套相配合以实现旋转密封，而伸缩轴则用于输出直线位移，使得轴体可以不参与直线位移的输出，这样，轴体与轴套之间的旋转密封不至于受到影响，而伸缩轴的引入则可以补充完善常规磁流体密封轴无法输出直线位移的缺陷；同时，伸缩轴采用内置于轴体的设计，可以避免对磁流体密封轴外部空间的占用，进而能够缩减设备的体积，并可提高设备的集成度。

可选地，所述轴体设置有自其轴向一端面向轴向另一端面延伸但未贯穿的开槽，所述开槽包括槽底壁和槽周壁，所述伸缩轴外套安装有活塞，所述活塞与所述开槽的槽周壁滑动密封；还包括封盖、第一密封件和流体供给及回收部件，所述封盖密封设置于所述开槽的槽口位置，所述封盖设置有过孔，所述伸缩轴自所述过孔伸出所述开槽，所述第一密封件能够密封所述过孔和所述伸缩轴之间的间隙，所述活塞与所述封盖之间形成第一腔室，所述活塞与所述槽底壁之间形成第二腔室，所述流体供给及回收部件与所述第一腔室、所述第二腔室中的至少一者相连通。

可选地，所述槽底壁设置有槽部，所述伸缩轴插接于所述槽部。

可选地，所述第一密封件为波纹管，所述波纹管外套于所述伸缩轴，所述波纹管的一个端部与所述封盖相连，所述波纹管的另一个端部与所述活塞相连。

可选地，所述开槽的槽口位置设置有台阶面，所述封盖安装于所述台阶面，且所述封盖与所述台阶面之间设置有第二密封件。

可选地，还包括转接套，所述转接套固定设置，并与所述轴体转动密封，所述转接套设置有第一流通口和第二流通口，所述第一流通口和所述第二流通口均连接有所述流体供给及回收部件；所述轴体设置有第一流体通道和第二流体通道，所述第一流体通道用于连通所述第一腔室和所述第一流通口，所述第二流体通道用于连通所述第二腔室和所述第二流通口。

可选地，所述转接套与所述轴体之间设置有第三密封件，所述第一流通口、所述第二流通口均位于相邻的两所述第三密封件之间。

可选地，所述轴体和所述转接套之间设置有沿轴向间隔设置的第一环形流道和第二环形流道，所述第一流通口通过所述第一环形流道与所述第一流体通道相连通，所述第二流通口通过所述第二环形流道与所述第二流体通道相连通。

可选地，所述轴套和所述轴体之间设置有相间隔的两轴承，所述磁流体布置在两所述轴承之间。

可选地，所述伸缩轴与所述轴体同轴布置。

附图说明