[发明专利]干式真空泵

说明书

本发明的实施例提供了一种干式真空泵，涉及光伏半导体加工设备技术领域。干式真空泵包括壳体和两个一体式转子，壳体的内部开设有容置空腔，两个一体式转子转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。干式真空泵的零件数量较少，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。

技术领域

本发明涉及光伏半导体加工设备技术领域，具体而言，涉及一种干式真空泵。

背景技术

随着光伏半导体行业的发展和进步，对于光伏半导体加工设备的控制要求越来越高，工艺也越来越复杂多样。现有的干式真空泵中一般采用多级爪式转子，也就是说，转子和轴为分体式结构，转子需要装配到轴上，每根轴上需要装配四个转子，对应的，壳体上为容纳所有转子设计有沿轴方向依次排布的五个空腔。这样，使现有的干式真空泵至少具有以下缺点：

1.结构复杂，零件的加工精度要求较高，零件的互换性较低，致使产品的性能和经济性难以提高；

2.零件多，装配的难度较大，导致装配的误差较大，设备的使用效果较差，使用寿命较短。

发明内容

本发明的目的包括提供一种干式真空泵，其能够减少零件的数量，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明提供一种干式真空泵，干式真空泵包括：

壳体，壳体的内部开设有容置空腔；

两个一体式转子，转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。

本实施例提供的干式真空泵的有益效果包括：

1.转子采用一体式结构形式，相比于现有的分体式转子，减少了零件数量，降低了生产和装配的难度，避免了装配误差较大，提高了设备的使用性能，并保证了使用寿命较长；

2.整体结构简单，零件的加工精度要求可以降低，降低了生产成本，零件的互换性较好，提高了经济性。

在可选的实施方式中，一体式转子包括：

转轴，转动安装在容置空腔内；

多个排气爪，安装在转轴上、且沿转轴的长度方向间隔排布，多个排气爪与转轴一体成型。

这样，一体式转子的结构简单，零件的数量少，可以采用模具一次性成型，降低了生产和装配的难度，提高了经济性。而且，设置有多个排气爪，可以实现多级排气，提升抽真空的效率，每个转轴上的多个排气爪之间无需采用销钉定位，转轴和多个排气爪为一体结构，相互之间的位置精度更高。

在可选的实施方式中，壳体包括两个盖合设置的外壳，外壳内开设有部分空腔，两个外壳的部分空腔拼接形成容置空腔。

这样，壳体的结构简单，零件的数量少，降低了生产和装配的难度，提高了经济性。具体的，两个外壳装配成壳体之后，就自动形成了可以容纳一体式转子的容纳空腔，相比于现有的真空泵需要将分体的多个腔体依次装配在一起，本实施例中的壳体明显减小了生产和装配难度。

在可选的实施方式中，两个外壳的形状结构相同。

这样，两个外壳可以采用同一个模具完成成型生产，降低了生产成本。

在可选的实施方式中，部分空腔包括两个轴腔和多个爪腔，两个轴腔间隔平行布置，多个爪腔沿轴腔的长度方向间隔布置，每个轴腔容纳一个转轴，每个爪腔容纳一个排气爪。

在可选的实施方式中，多个排气爪的形状各不相同。