[发明专利]用于电动机的振动监测系统

说明书

本申请提供一种用于电动机的振动监测系统，是应用于一具有电动机设施的设备机台，而该振动监测系统是包含有一振动感测装置、一信号转换装置及一伺服设备，其中该振动感测装置能够侦测该电动机设施的振动量测信号，并将该振动量测信号转换为一电动机频谱特征数据，而该伺服设备能够依据所接收的电动机频谱特征数据进行异常分析、剩余寿命分析、健康度分析与故障分析，并再将分析结果的内容发出一通知信息，除此之外，更能够依据该故障分析判断结果，提供对应的维修指引档，以提供维修与零件检查的排查顺序。

技术领域

本申请是关于一种用于电动机的振动监测系统，特别是一种能够依据电动机的振动量测信号，并将该振动量测信号转换为一电动机频谱特征数据，进行异常分析、剩余寿命分析、健康度分析与故障分析，并能够再发出通知与维修指引的系统。

背景技术

一般机械在运转情况下会发生渐进式的故障，初期出现异常征兆时，若未及时处理将有可能造成后续严重故障。

而传统的维修方法是被动式维修，当机台发生异常，维修工程师才由机台状态进行故障诊断。由于工业界维护技术的需求，维修的研究重点已逐步转向状态监测、预测性维修和故障早期诊断领域。

很多半导体制造业将向智能化电子诊断的方向发展，从而实现实时监测和调整设备营运，这一技术的采用也影响整个工业界与半导体制造业，明显可知，传统的维修方法已不适用于半导体制造业等一类的产业了。

针对上述情况，本申请能够对电动机能够通过对电动机的振动量测信号进行收集与监控，并能够进行异常分析、剩余寿命分析、健康度分析与故障分析，以于发生严重问题前，则能够发出警示通知，除此之外，更能够针对所分析的问题提出维修指引，如此将能够避免因问题累积而导致严重故障的发生，因此本申请应为一最佳解决方案。

发明内容

本申请用于电动机的振动监测系统，是应用于一个以上的电动机设施，而该用于电动机的振动监测系统是包含至少一个振动感测装置，与该电动机设施进行连接，用以侦测该电动机设施的振动量测信号；至少一个网络装置，用以接收数据，并以一网络传输方式传送出去；至少一个信号转换装置，与该振动感测装置及该网络装置电性连接，用以接收该振动感测装置所侦测的振动量测信号，且将该振动量测信号转换为一电动机频谱特征数据，并再将该振动量测信号的量测时间数据及该电动机频谱特征数据通过该网络装置传送出去；一伺服设备，是能够接收该网络装置所传送的该量测时间数据及该电动机频谱特征数据，而该伺服设备是具有至少一个处理器及至少一个计算机可读取记录媒体，该些计算机可读取记录媒体储存有至少一个监测分析应用程序、一正常振动数据及多个情境比对文件，其中该计算机可读取记录媒体更进一步储存有计算机可读取指令，当由该些处理器执行该些计算机可读取指令时，致使该伺服设备进行下列程序：通过监测分析应用程序将所接收的电动机频谱特征数据与该正常振动数据进行比对，以输出一判判断异常结果；用以将该频段特征区域数据进行持续储存并建立出一趋势模型，用以推估出一总振动值的时间趋势，再依据该时间趋势与该量测时间数据输出一设备可用寿命数据；用以将接收的电动机频谱特征数据与不同的情境比对档进行比对相近机率，并以最高机率的情境比对档输出为一故障分析判断结果；用以能够将该判判断异常结果、该设备可用寿命数据或/及该故障分析判断结果的内容发出一通知信息。

更具体的说，所述振动量测信号为正弦振动波形或是冲击波波形。

更具体的说，所述该电动机频谱特征数据能够依据不同的频段分成为多个频段特征区域数据。

更具体的说，所述正常振动数据为一或多个默认特征警戒值，而该监测分析应用程序能够依据该默认特征警戒值，与电动机频谱特征数据进行比对，若达到该默认特征警戒值，则输出该判断异常结果。

更具体的说，所述正常振动数据为收集长期正常运作下的数据，并依据该数据以机器学习方式训练出一判断模型，并以该判断模型与该电动机频谱特征数据进行比对，若差异性过大，则输出该判断异常结果。