[发明专利]一种检测仪的载物台及操作方法在审
申请号: | 202110901085.0 | 申请日: | 2021-08-06 |
公开(公告)号: | CN113670355A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 阳诚贵;冯小杰 | 申请(专利权)人: | 深圳德谱仪器有限公司 |
主分类号: | G01D11/00 | 分类号: | G01D11/00;G01L11/00;G01D21/02 |
代理公司: | 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 | 代理人: | 安静 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 载物台 操作方法 | ||
本发明公开了一种检测仪的载物台,其包括:拼装箱,所述拼装箱内依次设置有活动室和气密室,所述活动室上设置有活动槽,所述活动槽的下方设置有伸缩装置;密封板,所述密封板安装在所述气密室上;活动筒,所述活动筒的侧壁上设置有侧槽,所述活动筒安装在所述连接槽上;顶针,所述顶针上设置有吸附通孔,所述顶针的下端部侧壁上设置有前凸缘,所述顶针滑动安装在所述活动筒内;抽气装置,所述抽气装置安装在所述拼装箱外侧或所述气密室内,所述抽气装置通过导管与所述吸附通孔连接;复位板,所述复位板上设置有活动耳,所述复位板与所述伸缩装置连接,所述伸缩装置驱动所述复位板作上下往复运动;实现了方便快捷、稳定地承载待测物件。
技术领域
本发明涉及到检测设备领域,尤其涉及到一种检测仪的载物台及操作方法。
背景技术
一些部件在电镀或是喷涂金属颗粒涂层后,出于科研需要或是标准检测需要,会进行对电镀层、涂层的检测。其中较为常规的是利用X射线、机械波进行厚度检测。
在检测时,需要将待测元件放置在载物台上,然后关闭防护罩,打开检查设备,调整探头位置进行检测。由于部分仪器的载台或探头视线较差,操作人员需要进行多次调整,并且对于多个元件检测时,需要反复进行多次操作,繁琐枯燥。
在检查过程中或放置过程中,表面光滑、形状不规则的元件容易发生漂移、晃动,导致检测程序无法正确定位到元件,进而影响效率甚至是检测结果。
因此,亟需一种能够解决以上一种或多种问题的检测仪载物台及操作方法。
发明内容
为解决现有技术中存在的一种或多种问题,本发明提供了一种检查仪的载物台。本发明为解决上述问题采用的技术方案是:一种检测仪的载物台,其包括:拼装箱,所述拼装箱内设置有气密室和活动室,所述气密室设置在所述活动室下方,所述活动室的侧壁上设置有活动槽,所述活动槽的下方设置有伸缩装置;
密封板,所述密封板固定安装在所述气密室上并将所述气密室与所述活动室隔离,所述密封板上设置有连接槽;
活动筒,所述活动筒的侧壁上设置有侧槽,所述活动筒的下端部设置有通气孔,所述活动筒的下端部固定安装在所述连接槽上;
顶针,所述顶针上设置有上下贯穿的吸附通孔,所述顶针的下端部侧壁上设置有前凸缘,所述前凸缘与所述侧槽配合,所述顶针滑动安装在所述活动筒内;
硅胶圈,所述硅胶圈安装在所述前凸缘的下侧,所述硅胶圈使得所述顶针的滑动带阻尼;
抽气装置,所述抽气装置安装在所述拼装箱外侧或所述气密室内,所述抽气装置通过一导管与所述吸附通孔连接,所述抽气装置与外界连通;
复位板,所述复位板上设置有活动耳,所述活动耳与所述活动槽配合,所述复位板上设置有配合通槽,所述配合通槽与所述活动筒配合,所述前凸缘与所述配合通槽卡接,所述复位板安装在所述拼装箱内,所述复位板与所述伸缩装置连接,所述伸缩装置驱动所述复位板作上下往复运动;所述顶针和所述活动筒成组设置并且至少设置有九组。此为基础。
进一步地,所述活动筒上侧固定安装有前密封盖,所述前密封盖与所述前凸缘卡接。
进一步地,所述气密室与所述活动室的连接处设置有台阶,所述密封板安装在所述台阶上。
进一步地,还包括:盖板,所述盖板固定安装在所述活动室顶部,所述盖板上设置有与所述顶针数量一致的通孔。
进一步地,还包括:前盖,所述前盖呈喇叭状,所述前盖固定安装在所述拼装箱顶部并与所述活动室配合。
进一步地,所述抽气装置与所述伸缩装置气动连接,所述抽气装置通过对所述伸缩装置进行抽气、打气的方式,通过气压驱动所述复位板进行上下移动。
进一步地,所述顶针和所述活动筒成组设置,并呈圆周整列或线性整列设置;
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