[发明专利]一种激光器在审
| 申请号： | 202110891605.4 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN115706391A | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 寇君龙 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/343;H01S5/347;H01S5/042 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王积毅 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 | ||
1.一种激光器，其特征在于，其至少包括：
衬底；
第一半导体层，形成于所述衬底上；
量子阱层，形成于所述第一半导体层上；
第二半导体层，形成于所述量子阱层上；
接触层，形成于所述第二半导体层上；
光子晶体阵列，形成与所述接触层上，且所述光子晶体阵列穿过所述接触层、所述第二半导体层、所述量子阱层、所述第一半导体层以及部分衬底；
第一电极，形成于所述衬底上；以及
第二电极，形成于所述接触层上。
2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述光子晶体阵列包括多个光子晶体，所述光子晶体包括多个光子晶体孔洞。
3.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，所述光子晶体孔洞穿过所述接触层、所述第二半导体层、所述量子阱层、所述第一半导体层以及部分衬底，且所述光子晶体孔洞与所述衬底的底部具有预设距离。
4.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，所述光子晶体孔洞呈矩阵排布，相邻所述光子晶体孔洞之间具有第一长度的距离，且所述第一长度为0.48～0.52倍的波长。
5.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，所述光子晶体孔洞呈柱形结构孔洞。
6.根据权利要求5所述的激光器，其特征在于，所述光子晶体孔洞的直径范围为0.1～2um。
7.根据权利要求4所述的激光器，其特征在于，所述光子晶体孔洞的直径为第二长度，且所述第二长度与所述第一长度之比的范围为0.5～0.9。
8.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，所述光子晶体孔洞采用二氧化硅或氮化硅填充。
9.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述第一半导体层、所述量子阱层和所述第二半导体层采用III-V族化合物或II-VI族化合物制成。
10.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述第二电极呈环形设置，且所述第二电极环绕所述光子晶体阵列。
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