[发明专利]流体设备

权利要求书

1.一种流体设备，所述流体设备具有被构造用于容纳流体的流体室（5），所述流体室共同地由设备壳体（3）和弯曲弹性膜元件（4）限定，所述弯曲弹性膜元件具有主延伸层面（15）中的平面延伸，其中所述膜元件（4）在其外围边缘区域（17）处固定在所述设备壳体（3）处，并且其中为了改变流体室（5）的容积，通过所述流体设备（1）的压电执行器（7）在沿横向于所述主延伸层面（15）取向的工作方向（32）执行冲程运动（28）情况下能够使所述膜元件（4）的由所述外围边缘区域（17）围绕的膜工作片段（27）弹性地偏转，其中所述压电执行器（7）具有电极装置（34），引起所述膜工作片段（27）的冲程运动（28）的操控电压能够以可变的水平被施加到所述电极装置处，其特征在于，所述膜元件（4）是所述压电执行器（7）的功能性组成部分，其方式是所述膜元件直接构成所述电极装置（34）的导电电极（35）。

2.根据权利要求1所述的流体设备，其特征在于，所述膜元件（4）由导电金属制成，适宜地由不锈钢制成。

3.根据权利要求1或2所述的流体设备，其特征在于，所述膜元件（4）具有两个在所述工作方向（32）上彼此背离的膜表面（38、39），其中所述压电执行器（7）具有固定在所述两个膜表面（38、39）之一处的、拥有压电特性的压电元件（33），在其在所述工作方向（32）上背离所述膜元件（4）的侧上布置有所述电极装置（34）的另一电极（36），所述另一电极拥有平面扩展。

4.根据权利要求3所述的流体设备，其特征在于，所述压电元件（33）与所述膜元件（4）粘接。

5.根据权利要求3或4所述的流体设备，其特征在于，所述另一电极（36）由所述压电元件（7）的导电覆层组成。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的流体设备，其特征在于，所述压电元件（33）安放在所述膜元件（4）的背离所述流体室（5）的膜表面（39）处。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的流体设备，其特征在于，所述压电元件（33）具有圆形外轮廓，并且适宜地在面中心布置在所述膜元件（4）处。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的流体设备，其特征在于，所述膜元件（4）在其外围边缘区域（17）处具有圆形外轮廓。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的流体设备，其特征在于，所述压电执行器（7）是盘式传送器。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的流体设备，其特征在于，所述膜元件（4）在其外围边缘区域（17）处在周围流体密封地与所述设备壳体（3）连接。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的流体设备，其特征在于，所述流体设备拥有可电连接或电连接到所述电极装置（34）处的电子控制装置（8），通过所述电子控制装置借助于预给定相应水平的操控电压能够设定所述膜工作片段（27）的至少一个相对于所述设备壳体（3）采取的冲程位置。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的流体设备，其特征在于，所述流体设备装备有距离测量装置（49），所述距离测量装置被构造用于测量在所述膜工作片段（28）的冲程运动（28）情况下改变的在所述压电执行器（7）和所述设备壳体（3）之间的工作距离（48）。

13.根据权利要求12结合权利要求11所述的流体设备，其特征在于，所述电子控制装置（8）被构造用于以基于所述距离测量装置（49）的距离测量值调节的方式设定所述膜工作片段（27）的冲程位置。