[发明专利]一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具在审
申请号: | 202110869856.2 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113604783A | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 王奔;孙顺文;原清海 | 申请(专利权)人: | 上海米蜂激光科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 李思琼;冯振华 |
地址: | 200136 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 管状 光学 元件 外表 镀膜 专用 夹具 | ||
本发明提供了一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具,所述专用夹具设置于镀膜机的工件盘上,所述专用夹具包括驱动装置和多个传动齿轮,驱动装置的驱动轴连接驱动轮,传动齿轮与驱动轮啮合传动;传动齿轮的内圈过盈配合装配夹具转轴,夹具转轴的端部开设夹具孔,夹具孔中过盈配合设置硅胶棒,硅胶棒从端面向内部开设中空腔,中空腔中过盈配合装配待镀膜的管状或棒状光学元件,使待镀膜的管状或棒状光学元件被所述夹具转轴带动旋转。本发明适于真空沉积镀膜中对于管状、棒状、柱面和光纤外表面等光学元件镀膜,可以用于批量生产,且能有效保证膜厚均匀性。
技术领域
本公开涉及光学镀膜技术领域,尤其涉及一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具。
背景技术
随着光通信、激光制造技术的快速发展,光纤、柱面镜和管状等光学元件得到广泛的应用,如氦氖激光的石英玻璃管、特殊应用的光纤等,其外表面需要镀制光学薄膜,膜厚的均匀性是目前亟待解决的关键问题。以往的夹具装载量少,难以批量生产,而且结构复杂,装夹繁琐,容易破损。
发明内容
有鉴于此,本公开实施例提供一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具,适于真空沉积镀膜中对于管状、棒状、柱面和光纤外表面等光学元件镀膜,可以用于批量生产,且能有效保证膜厚均匀性。
为实现上述目的,本发明采取以下技术方案:
一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具,所述专用夹具设置于镀膜机的工件盘上,所述专用夹具包括驱动装置和多个传动齿轮,所述驱动装置的驱动轴连接驱动轮,所述传动齿轮与所述驱动轮啮合传动;所述传动齿轮的内圈过盈配合装配夹具转轴,所述夹具转轴的端部开设夹具孔,所述夹具孔中过盈配合设置硅胶棒,所述硅胶棒从端面向内部开设中空腔,所述中空腔中过盈配合装配待镀膜的管状或棒状光学元件,使所述待镀膜的管状或棒状光学元件被所述夹具转轴带动旋转。
在一种优选的实施方式中,所述夹具转轴的两端均开设所述夹具孔,两端的所述夹具孔中均设置硅胶棒,两端的所述硅胶棒中均设置待镀膜的管状或棒状光学元件。
在一种优选的实施方式中,还包括轴承,所述夹具转轴的两端外壁均装配所述轴承。
在一种优选的实施方式中,所述传动齿轮设置在所述驱动轮的一侧,或对称设置在所述驱动轮的两侧。
在一种优选的实施方式中,所述硅胶棒的中空腔内径比所述待镀膜的管状或棒状光学元件直径小0.5-1mm。
在一种优选的实施方式中,所述待镀膜的管状或棒状光学元件在所述硅胶棒的中空腔中的夹持长度为所述待镀膜的管状或棒状光学元件总长度的1/4-1/3。
在一种优选的实施方式中,所述夹具转轴带动所述待镀膜的管状或棒状光学元件旋转的转速为1-2转/秒。
在一种优选的实施方式中,所述专用夹具随着镀膜机的工件盘进行公转,公转速度为15-30转/分钟。
在一种优选的实施方式中,还包括壳体,所述壳体包括前壳和后壳,所述前壳和后壳通过螺钉固定连接形成内腔,以将所述传动齿轮和所述轴承密封在所述壳体的内腔中。
在一种优选的实施方式中,还包括密封圈,所述密封圈设置在所述前壳和后壳的连接密封处。
本发明的一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具,其有益效果在于:
(1)该夹具可稳定固定住棒状或者管状的直径和长度均较小、重量较轻、实心或空心的工件,实现外表面均匀镀膜;
(2)靠空心硅胶棒弹性夹持工件,避免工件的损伤,工件取放方便;
(3)根据工件的生产情况和工件盘夹持位置,可适当增减工件夹持的数量,提高劳动生产率。
(4)使用寿命长。
附图说明
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