[发明专利]一种声表面滤波器在审
| 申请号： | 202110868905.0 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113572451A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·李 | 申请（专利权）人： | 天通瑞宏科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 马迪 |
| 地址： | 314499 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种声表面滤波器，包括芯片和芯片上布设的谐振器，其特征在于，还包括：金属阻挡条，围设在所述芯片的边缘处，用于在覆膜工艺中阻隔覆膜流体侵入谐振器。
2.根据权利要求1所述的声表面滤波器，其特征在于，所述金属阻挡条通过溅射工艺形成。
3.根据权利要求1所述的声表面滤波器，其特征在于，所述金属阻挡条的外侧与所述芯片边缘之间的距离为10-20um。
4.根据权利要求1所述的声表面滤波器，其特征在于，所述金属阻挡条的厚度为谐振器中电路最大膜层膜厚的2-3倍。
5.根据权利要求1所述的声表面滤波器，其特征在于，所述金属阻挡条的宽度为10-30um。
6.根据权利要求1所述的声表面滤波器，其特征在于，所述金属阻挡条的形状包括下述至少一种：矩形或不规则多边形。
7.根据权利要求1所述的声表面滤波器，其特征在于：所述金属阻挡条的外边缘为平滑直线型或设置有连续设置凸起；所述凸起的形状为三角形、菱形或锯齿形。
8.根据权利要求7所述的声表面滤波器，其特征在于：所述凸起与所述芯片中的谐振器边缘临近设置。
9.根据权利要求7所述的声表面滤波器，其特征在于：所述金属阻挡条中与所述谐振器边缘临近设置的位置，加厚设置。
10.根据权利要求1所述的声表面滤波器，其特征在于，所述声表面滤波器包括至少三个串联谐振器，至少两个并联谐振器。
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