[发明专利]玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置及方法

权利要求书

1.玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置，其特征在于：包括吹风通道（1），所述吹风通道（1）下游连通有吸尘通道（2），所述吸尘通道（2）下游连通有光检通道（3），所述光检通道（3）下游连通有中和处理通道（4）；所述吹风通道（1）、吸尘通道（2）、光检通道（3）和中和处理通道（4）内都配置有由外界动力装置驱动转动的导辊结构；所述吹风通道（1）内配置有上出风装置（101）和下出风装置（102），所述上出风装置（101）和下出风装置（102）都开设有朝向导辊结构的斜向出风口（103），所述吹风通道（1）内配置有位于上出风装置（101）上游方位的第一位置传感器（104），所述吹风通道（1）内设置有位于上出风装置（101）下游方位的第二位置传感器（105）；所述吸尘通道（2）内配置有上吸尘装置（201）和下吸尘装置（202），所述上吸尘装置（201）和下吸尘装置（202）都设置有朝向导辊结构的吸尘口（203）；所述光检通道（3）内配置有光检装置（301），所述光检装置（301）下侧面安装有若干等间隔分布的曝光度检测机构（304），所述光检装置（301）下侧面设置有位于曝光度检测机构（304）下游的第三位置传感器（303），所述光检装置（301）的下侧面嵌入设置有位于相邻的曝光度检测机构（304）之间的远离处光度传感器（305），所述光检通道（3）内设置有若干位于导辊结构下方的底侧伸缩装置（306）；所述中和处理通道（4）内独立配置有第一水箱（401）、第二水箱（402）、第三水箱（403），所述中和处理通道（4）内配置有与第一水箱（401）相配合的第一清洗舱（404），所述中和处理通道（4）内配置有与第二水箱（402）相配合的毛刷清洗舱（405），所述中和处理通道（4）内配置有与第三水箱（403）相配合的纯水喷淋舱（406），所述中和处理通道（4）内配置有一级风刀干燥舱（407）、二级风刀干燥舱（408）。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置，其特征在于：所述上出风装置（101）和下出风装置（102）的斜向出风口（103）的倾斜方向都偏向吸尘通道（2）。

3.根据权利要求1所述的玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置，其特征在于：所述吸尘通道（2）内设置有位于上吸尘装置（201）、下吸尘装置（202）下游的下游挡板（204），所述导辊结构横向穿过上下侧的下游挡板（204）之间。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置，其特征在于：所述光检装置（301）的下侧面边缘区域设置有内面反光框板（302），所述内面反光框板（302）的内侧壁面涂覆有反光材料层。

5.根据权利要求1所述的玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置，其特征在于：所述底侧伸缩装置（306）至少设置平行的三组，每组的底侧伸缩装置至少为两个；所述底侧伸缩装置（306）包括向上穿过相邻导辊结构的伸缩杆（307），所述伸缩杆（307）上端配置有用于支撑抛光后的玻璃基板（5）的支撑橡胶垫板（308）。

6.根据权利要求1所述的玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置，其特征在于：所述曝光度检测机构（304）包括条状的曝光LED（3041）和接近面光度传感条（3042），所述接近面光度传感条（3042）内嵌若干个光度传感探头。

7.根据权利要求1所述的玻璃基板表面抛光残留检测及处理一体化系统装置，其特征在于：所述第一水箱（401）内盛放有弱酸性溶液，所述第一水箱（401）通过水流系统与第一清洗舱（404）连通；所述第二水箱（402）、第三水箱（403）内盛放有清水，所述第二水箱（402）通过水流系统与毛刷清洗舱（405）连通，所述第三水箱（403）通过水流系统与纯水喷淋舱（406）连通；其中，所述毛刷清洗舱（405）内配置有毛刷结构。