[发明专利]一种六振镜群孔加工装置及加工方法

权利要求书

1.一种六振镜群孔加工方法，其特征在于，包括如下过程：

S1：在光路上设置第一振镜组、透镜组件、第二振镜组及加工平台，加工平台上放置加工件，光束经过所述透镜组件聚焦后的焦点位于加工件上，焦点可通过焦点移动机构在加工件上移动；其中，第一振镜组包括联动控制的对光束进行整形的X1振镜、Y1振镜、X2振镜和Y2振镜，第二振镜组包括用于群孔定位的X3振镜和Y3振镜，透镜组件包括第一聚焦透镜、第二聚焦透镜和远心透镜，所述第一聚焦透镜的后焦点与所述第二聚焦透镜的前焦点基准位置重合；

S2：通过X3振镜和Y3振镜确定群孔中心位置后，X1振镜、Y1振镜、X2振镜和Y2振镜通过联动控制加工其中一个微孔，在加工过程中调节焦点移动装置，同步下降焦点的位置，X1振镜偏转实现光束在第一聚焦透镜X方向的偏移，X2振镜补偿X1振镜的偏转角度后实现光束在X方向的角度偏移，Y1振镜偏转实现第一聚焦透镜Y方向的偏移，Y2振镜补偿Y1振镜的偏转角度后实现光束在Y方向的角度偏移，通过调节第一振镜组中四个振镜的摆放角度，从而满足微孔的位置、锥度和孔径的加工需求；

S3：完成一个微孔的加工后，关闭激光，恢复焦点的初始位置，调节X3振镜和Y3振镜定位到新的一个微孔的中心，重复打孔操作，直至完成整个孔阵的加工。

2.根据权利要求1所述的六振镜群孔加工方法，其特征在于，所述第一聚焦透镜和所述第二聚焦透镜设置在所述第一振镜组和所述第二振镜组之间的光路上，所述远心透镜设置在所述第二振镜组和所述加工平台之间的光路上。

3.根据权利要求2所述的六振镜群孔加工方法，其特征在于，所述焦点移动机构可使所述第一聚焦透镜、第二聚焦透镜或远心透镜中的一个在光路上来回移动。

4.根据权利要求1所述的六振镜群孔加工方法，其特征在于，所述焦点移动机构可使所述加工平台沿光路来回移动。

5.根据权利要求1所述的六振镜群孔加工方法，其特征在于，所述X1振镜、Y1振镜、X2振镜和Y2振镜由一个控制卡进行调控。

6.根据权利要求1所述的六振镜群孔加工方法，其特征在于，所述X1振镜、Y1振镜、X2振镜和Y2振镜为高速度高精度小通光孔径的振镜，通光孔径为7～10mm。

7.根据权利要求1所述的六振镜群孔加工方法，其特征在于，所述X3振镜、Y3振镜为大通光孔径的振镜，通光孔径为14～30mm。

8.根据权利要求1所述的六振镜群孔加工方法，其特征在于，所述焦点移动机构可以是手动调节装置或者是由无线控制的带电源的电控系统调节装置。