[发明专利]一种星用辐射剂量传感器的老炼筛选方法

权利要求书

1.一种星用辐射剂量传感器的老炼筛选方法，其特征在于：该方法涉及装置是由辐射剂量传感器、偏置板、高低温箱、半导体参数测试系统、PC机、辐射剂量在线监测主板和数据采集器组成，在偏置板（2）上分别与辐射剂量传感器（1）、高低温箱（3）、半导体参数测试系统（4）和辐射剂量在线监测主板（6）连接，半导体参数测试系统（4）与PC机（5）连接，辐射剂量在线监测主板（6）与数据采集器（7）连接，其中，辐射剂量在线监测主板（6）包括动态偏置电路、恒流源电路、稳压电路、信号放大电路、信号输出，具体操作按下列步骤进行：

a、选取辐射剂量传感器（1）受试样品，使用半导体参数测试系统（4）对辐射剂量传感器（1）受试样品进行输出转移特性曲线Ids-Vgs测试，并读取转移特性曲线Ids-Vgs 曲线上Ids=10μA时对应的Vgs值，即为辐射剂量传感器（1）受试样品的阈值电压Vth；

b、根据辐射剂量传感器（1）的应用环境，确定筛选试验中辐射剂量传感器（1）受试样品需施加的最大电场应力和不同环境温度应力条件；

c、高温应力试验：将步骤a的辐射剂量传感器（1）受试样品安装在偏置板（2）上，给偏置板（2）施加恒定低电场-15V，将加电的偏置板（2）放置在高低温箱（3）内，进行高温100℃，时长为168小时的环境应力试验，然后取出偏置板（2）移位测试辐射剂量传感器（1）受试样品的Ids-Vgs曲线，比较步骤a和步骤c施加应力前后辐射剂量传感器（1）受试样品的Ids-Vgs曲线的斜率及位置阈值电压变化；Ids-Vgs曲线没有变化的视为合格即进入下一步的应力试验，反之则不合格；

d、高低温应力试验：将步骤c筛选合格的辐射剂量传感器（1）受试样品安装在偏置板（2）上，偏置板（2）通过长线连接在辐射剂量在线监测主板（6）上，给辐射剂量在线监测主板（6）加电，使得辐射剂量在线监测主板（6）处于工作状态，然后将偏置板（2）放置于高低温箱内（3），进行10组从高温+55℃时长为4小时到低温-25℃时长为4小时的高低温循环应力试验，通过辐射剂量在线监测主板（6）输出口连接的数据采集器（7），在线采集辐射剂量响应参数，将步骤c合格的辐射剂量传感器（1）受试样品的阈值电压Vth与步骤a得到的辐射剂量传感器（1）受试样品的阈值电压Vth进行对比，超差小于30mV为合格器件，即进入下一步的环境应力试验，反之则不合格；

e、室温环境应力试验：将步骤d筛选合格的辐射剂量传感器（1）受试样品安装在偏置板（2）上，偏置板（2）通过长线连接在辐射剂量在线监测主板（6）上，给辐射剂量在线监测主板（6）施加+15V电场，使得辐射剂量在线监测主板（6）处于工作状态，然后将偏置板（2）放置室温环境下，进行168小时的室温应力试验进行测试，通过辐射剂量在线监测主板（6）输出口连接的数据采集器（7），在线采集辐射剂量响应参数，将步骤d筛选合格的辐射剂量传感器（1）受试样品的阈值电压Vth与步骤a得到的辐射剂量传感器（1）受试样品的阈值电压Vth进行对比，超差小于30mV为合格，反之则不合格；

f、经过步骤e测试合格的辐射剂量传感器（1）受试样品视为老炼合格样品。

2.根据权利要求1所述的一种星用辐射剂量传感器的老炼筛选方法，其特征在于：步骤d和步骤e中所述的辐射剂量在线监测主板（6）中的动态偏置电路由运算放大器组成负反馈给辐射剂量传感器（1）提供偏置电场，恒流源电路是由恒流源给辐射剂量传感器（1）注入恒定的电流，稳压电路是对辐射剂量传感器（1）输出电压值进行稳压差分输出，输出信号通过信号放大电路进行放大，放大输出端的信号通过数据采集器（7）进行数据的在线采集。

3.根据权利要求1所述的一种星用辐射剂量传感器的老炼筛选方法，其特征在于：步骤d和步骤e中的辐射剂量响应参数是由安捷伦34972数据采集器在线采集。