[发明专利]扫描耗尽激光显微镜

权利要求书

1.第一种类型的扫描耗尽合成激光显微镜(SDL-1)，包括：

激光源；

聚焦透镜；

180°相移透镜单元，包括：

在0°相移玻璃涂层的不透光铬(Cr)层上开制一个小于激光波长λ孔以产生艾里斑光束的0°相移艾里斑透镜；

在180°相移玻璃涂层的不透光铬(Cr)层上开制至少由三个沿圆周的相邻等间距的，小于激光波长λ的同尺寸孔组成的以产生180°相移环状射束透镜；

0°相移艾里斑镜头的玻璃厚度是180°相移环状射束透镜的玻璃的两倍或一半厚度；0°相移的艾里斑透镜和180°相移的环状射束透镜在平板玻璃有相同的中心，其中中央的艾里斑射束镜头被180°相对相移的环状射束镜头单元包围，

相移透镜单元的支承架；

探测器；

工作台；

射束消隐。

2.根据权利要求1所述的SDL-1显微镜，其中所述激光器的光源包括可见光，UV，EUV光或电磁波。

3.根据权利要求1所述的SDL-I显微镜，其中用于制造180°相移环状透镜的玻璃在180°相移玻璃的透明表面上涂覆有部分穿透的光薄层，以便将环状射束振幅减小到需要的值来淬灭来自中心透镜的反向振幅艾里斑重叠部份以形成纳米射束。

4.根据权利要求1所述的SDL-I显微镜，其中，所述相移单元还包括以小于，并接近180°的角度连接的两个分开的平板玻璃透镜上制成的0°相移艾里斑透镜和180°相移环状透镜单元，以获得来自0°相移透镜的艾里斑和来自180°相移透镜单元的反振幅的环状的两束小交叉角度射束，在光束交叉点处形成耗尽合成纳米射束。

5.根据权利要求4所述的SDL-1显微镜，其中所述相移单元还包括分别在两个分开的聚焦透镜上制成的一组0°相移的艾里斑透镜和一组180°相移的环状射束透镜单元，所述两个独立的聚焦透镜的连接角度小于，接近于180°以在光束交叉点处形成高振幅耗尽合成纳米射束。

6.根据权利要求1所述的SDL-1显微镜，其中，所述180°相差透镜单元还进一步包括在半球形壳透镜(或半球形镜头)上的180°相移的环状射束透镜单元和数个0°相移的艾里斑光束透，其中180°相移的环状射束透镜在顶部极点上，而0°相移的艾里斑射束透镜相对于半球壳透镜的顶部极点对称地分布在一个纬度圆周上，以把所有0°相移艾里斑透镜的艾里斑和180°相移环状射束透镜单元的反振幅环状射束聚焦在光束交叉点上形成耗尽合成纳米射束，

第二种扫描耗尽合成激光显微镜(SDL-II)，包括：

两束180°相对相移交叉激光束；

聚焦透镜；

同相透镜单元，包括：

0°相移玻璃涂层的不透光铬(Cr)层上开制一个小于激光波长λ孔的艾里斑透镜；

0°相移玻璃涂层的不透光铬(Cr)层上开制至少由三个沿圆周相邻等间距的，小于激光波长λ的同尺寸孔组成环状射束透镜：

具有平板玻璃的艾里斑射束透镜和环状射束透镜组成的透镜单元，其两个平板玻璃以小于，并接近180°的角度连接在一起，

相移透镜单元的支承架；

探测器；

工作台；

射束消隐。

7.根据权利要求7所述的SDL-II显微镜，其中，所述两个180°相对相移交叉激光包括可见光激光束，UV束，EUV束或电磁波。

8.根据权利要求8所述的SDL-II显微镜，其中，所述激光束还包括来自可见光激光束，UV束，EUV束或电磁波的两个180°相对相移偏振光束。

9.如权利要求7所述的SDL-II显微镜中，用于制造所述环状射束透镜单元的玻璃表面上涂覆有部分光穿透的薄层，以将所述180°相移环状射束的振幅减小至和从中央透镜的艾里斑重叠耗尽所要求的值以形成耗尽合成纳米射束。