[发明专利]感测装置

说明书

一种感测装置，包括感测结构层、第一无机层、第一遮光图案、第一有机图案层、第二无机层、第二遮光图案、第二有机图案层、第三无机层以及多个微透镜。第一无机层位于感测结构层上。第一遮光图案位于第一无机层上。第一有机图案层位于第一遮光图案上且具有第一开口。第二无机层覆盖第一有机图案层的顶表面以及侧壁。第二遮光图案位于第二无机层上。第二有机图案层位于第二遮光图案上且具有第二开口。第三无机层覆盖第二有机图案层的顶表面以及侧壁。多个微透镜位于第三无机层上。

技术领域

本发明涉及一种感测装置，且特别涉及一种指纹感测装置。

背景技术

目前配备有生物识别系统(例如指纹或虹膜)的便携式电子装置朝向全屏幕或超窄边框发展的趋势，因此，近年来屏下光学感测器被应用于便携式电子装置中。上述的屏下光学感测器为将微型光学成像装置设置于便携式电子装置的屏幕下方，通过屏幕的部分透光区域获取按压于屏幕上方的物体的图像。以屏下指纹感测器为例，其一般包括有感测结构层以及设置于其上方的光机结构层，其中光机结构层由于具有微透镜而须设计有一定厚度以作为焦距，使得光机结构层包括有多层彼此堆叠的厚膜结构；然而，此厚膜结构自身具有较大的应力，使得指纹感测器于形成后产生翘曲的问题，其对于后续例如对指纹感测器进行切割或与显示面板粘合等工艺将带来不利的影响。

发明内容

本发明提供一种感测装置，其可解决因设置有多层结构而产生翘曲的问题。

本发明的感测装置包括感测结构层、第一无机层、第一遮光图案、第一有机图案层、第二无机层、第二遮光图案、第二有机图案层、第三无机层以及多个微透镜。感测结构层位于基板上且包括多个感测单元。第一无机层位于感测结构层上。第一遮光图案位于第一无机层上且定义出第一光通过区域，其中第一光通过区域对应于多个感测单元的感测元件。第一有机图案层位于第一遮光图案上且包括多个第一有机图案，其中相邻的第一有机图案之间具有第一开口。第二无机层覆盖第一有机图案层的顶表面以及侧壁。第二遮光图案位于第二无机层上且定义出第二光通过区域，其中第二光通过区域对应于第一光通过区域。第二有机图案层位于第二遮光图案上且包括多个第二有机图案，其中相邻的第二有机图案之间具有第二开口，且第二开口对应于第一开口。多个微透镜对应于第二光通过区域。

在本发明的一实施例中，上述的部分的第一遮光图案被第一开口暴露，且第二遮光图案覆盖第一有机图案层的侧壁。

在本发明的一实施例中，上述的第一无机层的厚度、第二无机层的厚度与第三无机层的厚度介于500埃-3000埃之间。

在本发明的一实施例中，上述的第一开口的宽度至少大于2微米，且第二开口的宽度至少大于3微米。

在本发明的一实施例中，上述的感测装置还包括第四无机层、第三有机图案层以及滤光图案层。第四无机层设置于第二无机层与第三无机层之间，且覆盖第二有机图案层的顶表面以及侧壁。第三有机图案层位于第四无机层上且包括多个第三有机图案，其中相邻的第三有机图案之间具有第三开口，且第三开口对应于第一开口以及第二开口。滤光图案层位于第四无机层与第三有机图案层之间。

在本发明的一实施例中，上述的感测装置还包括第三遮光图案，第三遮光图案位于第三无机层上且定义出第三光通过区域，且第三光通过区域对应于第二光通过区域。

在本发明的一实施例中，上述的第三遮光图案覆盖第一有机图案层的侧壁、第二有机图案层的侧壁、滤光图案层的侧壁以及第三有机图案层的侧壁。

在本发明的一实施例中，上述的第一无机层的厚度、第二无机层的厚度、第三无机层的厚度与第四无机层的厚度介于500埃-3000埃之间。

在本发明的一实施例中，上述的第一开口的宽度至少大于2微米，第二开口的宽度至少大于3微米，且第三开口的宽度至少大于8微米。

在本发明的一实施例中，上述的多个感测单元的每一者包括主动元件以及感测元件，其中主动元件与感测元件电性连接。