[发明专利]水洗过滤装置

说明书

本申请提供一种水洗过滤装置，通过过滤件中具有毛细纤维的片状材料来增加液体跟气体的碰撞机率，更进一步通过毛细纤维上的纳米结构物来移除气体中的有害物质。且通过液体(由上到下)跟气体(由下到上)平行式的碰撞，以达到降低用水量以及降低风阻，并同时提升空气的清洗效率的效果。

技术领域

本申请是关于一种水洗装置，特别是一种采用液体(由上到下)跟气体(由 下到上)平行式的碰撞的水洗过滤装置。

背景技术

现今，高科技产业为现阶段工业发展重心。然而，高科技产业的群聚现象， 对于周围环境造成相当大的负担。

有别于传统产业。高科技产业在制造过程中为确保产品质量，经常使用大 量易挥发性的有机溶剂清洗。此状况下就会衍生出挥发性有机气体污染物，又 称为挥发性有机物(VOCs)，是指在一大气压下，沸点在250℃以下的有机化合 物的空气污染物总称。

挥发性有机物(VOCs)可能经由逸散或排放管道进入大气环境中，进而污染 周围环境。因此加强管制VOCs排放乃是改善空气质量的当务的急。

在高科技产业中，以集成电路产业产生的污染问题最为严重，其次为光电 产业。而半导体制程中以黄光制程、封装制程为主要挥发性有机污染物来源。 其VOCs废气的主要来源往往为制程使用的光阻剂、去光阻剂、显影剂等等。

而这些试剂的主要有机物种以丙酮(Acetone)、异丙酮(IPA)、丙二醇单甲 基醚(PGME)、乙酸丙二醇单甲基醚酯(PGMEA)、二甲基亚砜(DMSO)、乙醇胺 (MEA)、氮-甲基2-四氢吡咯酮(NMP)、二乙二醇单丁醚(BDG)、四甲基氢氧化铵 (TMAH)等成份为多数。

以往，传统的移除VOCs的技术主要分为冷凝法、吸附法、洗涤法、焚烧 法以及生物处理技术等五种方法，其中：

冷凝法多用于高浓度、成分单纯且具回收价值的VOCs废弃处理，冷凝法 的优点为处理成本较低，缺点为需于高浓度(浓度需高于5,000ppm)时操作方具 一定的效益，且设置及操作成本偏高，因此一般仅应用于高浓度且具回收价值 的挥发性有机物，应用较为局限。

吸附法主要利用高孔隙率、高比表面积的吸附剂，通过物理性吸附(可逆 反应)或化学性键结(不可逆反应)作用，将VOCs气体分子自废气中分离，以 达成净化废气的目的。最大特点是能在符合经济条件的操作范围内，几乎完全 除去废气中某些VOCs成分，故在空气污染控制上，特别适于处理风量大含有 低浓度VOCs的废气。

化学洗涤法是通过气-液接触，使气相中的臭味成分转移至液相，并通过 化学药剂与臭味成分的中和、氧化或其他化学反应来以此去除臭味物质。故可 应用化学洗涤方法处理的臭味物质包括有机硫化合物、含氮化合物、有机酸、 含氧碳氢化合物、含卤化物等废气。

焚化法乃将含有VOCs成份的气体在高温下氧化分解，而达清净的废气以 排放，此法主要优点为适用于所有可燃性成份，而其缺点为燃料消耗量大，操 作成本高。焚化炉设计能供给氧气、满足燃烧温度、停留时间及废气扰流等四 个燃烧条件，其中每个条件皆可视需要情况加以修正，并准确控制，以使废气 完全燃烧，达到预期的处理效果。

生物处理法为污染物(如VOCs等)通过生物处理系统的过程中，通过微 生物的分解、氧化、转化等机制，将污染物完全分解氧化成CO₂、H₂O、NO₃^-、 SO₄^2-等无害性的无机物。虽然生物处理法具有无二次污染的特性，然而与其 它污染防治技术相较下，在选用时尤须考虑地域性参数所影响的整体成本，诸 如土地价格、水费、电费的高低及法令标准等。

由上述可知，不论采用哪种方法都有其需改进的地方。为此，在使用洗涤 法的情况下，如何降低用水量以及降低风阻，并同时提升空气的清洗效率为水 洗装置改善的重点，也是本领域技术人员所欲解决的问题。