[发明专利]一种便于定位的溅镀机用定位装置及定位方法

权利要求书

1.一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：包括主体、盖板、安装盘、阴极、连接环、驱动机构和定位夹具，所述主体设有空腔，所述主体的上方设有盖板，所述盖板上等角度设有连通所述空腔的进料口、溅镀口和出料口，所述空腔的中间位置处设有驱动机构，所述驱动机构通过横杆连接有多个安装盘，所述安装盘上设有用于安装光盘的安装槽，所述安装槽的中心位置处设有用于固定光盘的定位轴芯，所述盖板上设有连接环，所述连接环收容于所述溅镀口内，所述连接环上设有安装孔，所述盖板上设有与所述安装孔匹配的螺孔，所述连接环通过螺钉固定在所述安装板上，所述连接环连接有阴极，所述定位夹具的中间设有与所述定位轴芯同轴同径的定位孔，所述定位夹具与所述连接环连接，移动所述定位夹具与所述连接环，使所述定位孔套于所述定位轴芯上，将所述连接环固定到所述盖板上，实现所述阴极与待溅镀光盘定位，所述定位夹具包括圆盘，所述圆盘的中间设有向下的筒状延伸部，所述延伸部伸进所述连接环内，所述定位孔设有所述延伸部底面的中间，所述延伸部的外侧设有位于同一圆周的多个滑槽，所述滑槽内连接有定位块，所述定位块远离所述连接环的一端与所述滑槽的内壁之间连接有弹簧，所述定位块的另一端连接有滚珠，所述连接环的内壁设有环形槽，所述滚珠部分滚动连接在所述环形槽内。

2.根据权利要求1所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：所述安装槽的直径大于光盘的直径，所述定位轴芯的直径小于光盘中心孔的直径，所述定位轴芯与所述安装盘设有连通的内腔，所述定位轴芯的周面上等角度分布有三个凹槽，所述凹槽内连接有与之匹配的滑块，所述滑块连接有导杆，所述导杆贯穿到所述定位轴芯内，所述安装盘内固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴伸进所述定位轴芯内，所述输出轴上等角度分布有三个拨片，所述拨片位于与所述输出轴相切的的直线上，所述导杆靠近所述输出轴的一端抵在所述拨片靠近所述输出轴的一端上，所述导杆连接有滚动轴承，所述导杆伸进所述内腔内的部分连接有弹簧，所述弹簧的两端分别固定在所述定位轴芯的内壁与所述导杆的周面上，所述弹簧始终处于压缩状态。

3.根据权利要求1所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：所述驱动机构包括设于所述主体下方的第二伺服电机，所述主体的底面设有通孔，所述第二伺服电机的转轴由所述通孔伸进所述主体内，所述安装盘通过横杆固定在所述转轴上。

4.根据权利要求1所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：所述安装盘的上端面设有密封圈，所述密封圈位于所述安装盘与所述连接环之间。

5.根据权利要求1所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：所述进料口与所述出料口处均设有机械手，所述机械手连接有真空吸盘。

6.一种使用如权利要求1中所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置的定位方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)驱动机构驱动所述圆盘转至与所述溅镀口同轴并固定；

(2)将所述定位夹具的延伸部插入所述连接环内；

(3)移动所述定位夹具与所述连接环，使所述定位夹具的定位孔套在所述定位轴芯上；

(4)将所述连接环通过螺钉固定到所述盖板上，取下所述定位夹具；

(5)将所述阴极连接到所述连接环上，实现所述阴极的快速定位。