[发明专利]超声清洁高效散热型磁控溅射阴极

说明书

一种超声清洁高效散热型磁控溅射阴极，包括安装组件，以及设于安装组件上的屏蔽罩，屏蔽罩内由上至下依序安装靶材组件、超声清洁冷却组件、磁性组件以及磁短路组件；超声清洁冷却组件包括冷却元件和导热元件，以及设于冷却元件外侧壁上的多个超声振子；冷却元件的顶部内凹形成供冷却介质通过的冷却流道，导热元件的底部设有多个外凸且延伸至冷却流道中的导热柱。本发明通过导热元件将靶材组件的热量快速导出至导热柱中，冷却流道中的冷却介质迅速与导热柱中的热量进行热交换，从而提高散热效果，此外，可以通过超声振子对冷却流道中产生的水垢及靶材表面的颗粒物进行自动清洁，从而提高冷却效率、减少靶材打火，提高沉积涂层速率及质量。

技术领域

本发明涉及等离子体材料表面处理技术领域，特别涉及一种超声清洁高效散热型磁控溅射阴极。

背景技术

OLED柔性显示技术因其具有可弯曲、响应速度快、高色域、宽视角的特点，以及对比传统的显示技术其不论是在画面品质、功耗及成本上都有很大的优势，使得其大规模取代传统显示技术而被在应用在电视、手机、平板显示等领域。

目前，OLED柔性显示屏幕的表面主要采用封装掩膜版(CVD Mask)，且通过表面镀膜的方法以提高其阻隔绝缘耐腐蚀特性，即通过磁控溅射方式在表面制备氧化铝涂层。

现有的磁控溅射方式中，溅射阴极一般均为矩形平面结构，但是现有溅射阴极在溅射过程中的散热效果欠佳，使得靶材表面的温度较高，热辐射导致基材温升过快不易实现靶材的大功率密度溅射；且长时间使用后，磁控溅射阴极的冷却水道中容易形成水垢，会进一步影响散热；此外，反应溅射过程中靶材表面容易产生氧化颗粒引起靶材打火，使放电不稳定。

发明内容

基于此，本发明的目的是提供一种超声清洁高效散热型磁控溅射阴极，能够清除水垢和靶材表面的氧化颗粒，提高散热效果，以及使放电更加稳定。

一种超声清洁高效散热型磁控溅射阴极，包括固定于真空腔体内的安装组件，以及设于所述安装组件上的屏蔽罩，所述屏蔽罩内由上至下依序安装靶材组件、超声清洁冷却组件、磁性组件以及磁短路组件，所述磁短路组件固定在所述安装组件上，所述靶材组件顶部贯穿所述屏蔽罩顶部；

所述超声清洁冷却组件包括相连接的冷却元件和导热元件，以及设于所述冷却元件外侧壁上的多个超声振子，所述导热元件的顶部与所述靶材组件的底部贴合，所述冷却元件安装在所述磁短路组件的顶部；

所述冷却元件的顶部内凹形成供冷却介质通过的冷却流道，所述导热元件的底部设有多个外凸且延伸至所述冷却流道中的导热柱。

相较现有技术，本发明中，通过所述导热元件将所述靶材组件的热量快速导出至所述导热柱中，所述冷却流道中的冷却介质迅速与所述导热柱中的热量进行热交换，从而提高散热效果，此外，可以通过超声振子对冷却流道中产生的水垢进行自动清洁，从而提高散热效率和使用寿命，还可用于清理靶材表面的氧化物颗粒，减少放电打火，提高溅射稳定性。

进一步地，所述冷却流道的深度与所述导热柱的长度相等。

进一步地，所述导热柱上设有散热流道，所述散热流道位于所述导热柱的外壁上或贯穿所述导热柱的侧壁。

进一步地，所述冷却流道为矩形凹槽，矩形凹槽的底部一端设有进液孔，另一端设有出液孔；

多个所述导热柱呈阵列分布，且直径为0.5～3mm。

进一步地，所述冷却元件和导热元件均采用铜或铝制成。

进一步地，所述靶材组件包括贴设于所述导热元件顶部表面上的溅射靶材，用于将导热元件固定在所述冷却元件上的第一固定板，以及用于将所述溅射靶材固定在所述第一固定板上的第二固定板。