[发明专利]一种下密封载具

权利要求书

1.一种下密封载具，其特征在于，包括：

下密封安装板(624)，其上形成有靠近中心区域的中央部分(6241)及围绕所述中央部分(6241)布置的侧向定位槽(6242)；

多个布置于所述侧向定位槽(6242)中的侧向定位组件(66)，所述侧向定位组件(66)被布置为由至少两个侧向定位子集构成，每个侧向定位子集包括相对设置的一对侧向定位组件(66)，每个侧向定位子集中的相应一对侧向定位组件(66)彼此相对设置；

至少三个定位吸嘴(627)，其布置于所述中央部分(6241)中；以及

第一密封圈(628)，其布置于所述中央部分(6241)的边缘并将所述定位吸嘴(627)围绕于其中；

其中，当工件放置于由所述侧向定位组件(66)所围绕的区域中时，工件在所述侧向定位组件(66)的侧向定位作用下被定位至预设位置，随后定位吸嘴(627)对工件的下表面进行吸附定位，第一密封圈(628)对工件的下表面形成密封；

所述侧向定位组件(66)包括：

固定设置于所述侧向定位槽(6242)中的侧边限位挡条(661)，其上开设有贯穿与其上下表面的定位通孔(662)；

定位挡块(663)，其沿竖直方向可滑动地设于所述定位通孔(662)中；以及

定位复位部件(664)，其弹性地支撑于所述定位挡块(663)的下表面；

其中，所述定位通孔(662)的侧面开设有与其相连通的侧边定位槽(6621)，从而使得当所述定位挡块(663)安装于所述侧边定位槽(6621)中时，所述定位挡块(663)的至少相应侧面从侧边定位槽(6621)中向外露出并突出于所述定位挡块(663)的相应侧面。

2.如权利要求1所述的下密封载具，其特征在于，所述第一密封圈(628)上形成有与工件开口相适应的下封堵区域(6281)，所述下密封安装板(624)中开设有通往所述下封堵区域(6281)顶部的气密性检测气路(6243)。

3.如权利要求1所述的下密封载具，其特征在于，所述下密封安装板(624)中开设有通往定位吸嘴(627)的抽真空气路(6244)。

4.如权利要求1所述的下密封载具，其特征在于，所述定位挡块(663)包括：

滑动连接于所述定位通孔(662)中的定位主体(6631)；

一体式地形成于所述定位主体(6631)侧面的阻挡部(6633)，所述阻挡部(6633)通过所述侧边定位槽(6621)向外露出；以及

固接于所述定位主体(6631)的底部并沿着X轴方向水平向外延伸的限制部(6632)；

其中，所述侧边定位槽(6621)的X轴向宽度小于所述定位主体(6631)的X轴向宽度，定位主体(6631)的X轴向宽度大于所述侧边定位槽(6621)的X轴向宽度，从而使得定位主体(6631)不能通过所述侧边定位槽(6621)向旁侧位移。

5.如权利要求4所述的下密封载具，其特征在于，所述阻挡部(6633)的顶部形成有向所述定位通孔(662)的内侧圆滑过渡的导引曲面(6633’)，从而使得所述导引曲面(6633’)的Y轴方向厚度在从上至下的方向上呈渐扩之势。

6.如权利要求4所述的下密封载具，其特征在于，所述定位主体(6631)的顶部至少部分向上凸起以形成限位部(6634)。

7.如权利要求4所述的下密封载具，其特征在于，所述定位主体(6631)上与所述侧边定位槽(6621)相背的一侧形成有至少两条纵向延伸的突棱(6635)。

8.如权利要求4所述的下密封载具，其特征在于，所述侧边限位挡条(661)上形成有位于所述定位通孔(662)正下方的让位空间(6622)，所述让位空间(6622)的X轴方向尺寸大于所述定位通孔(662)的X轴方向尺寸。

9.如权利要求1所述的下密封载具，其特征在于，所述下密封安装板(624)上还设有围绕所述侧向定位组件(66)布置的第二密封圈(625)。