[发明专利]多路皮秒和纳秒复合高功率激光脉冲系统及聚焦调节方法在审

专利信息
申请号: 202110742359.6 申请日: 2021-07-01
公开(公告)号: CN115555705A 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 李林骏;谢兴龙;郭爱林;康俊;孙美智;朱坪;梁潇;杨庆伟;朱海东 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: B23K26/042 分类号: B23K26/042;B23K26/06;B23K26/70
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 多路皮秒 复合 功率 激光 脉冲 系统 聚焦 调节 方法
【权利要求书】:

1.一种多路皮秒和纳秒复合高功率激光脉冲系统,其特征在于该系统的构成是:根据工作的需要,在靶室的内壁上设置具有共同焦点位置的N路离轴抛物面反射镜,靶位设置在所述的离轴抛物面聚焦镜的焦点,称为靶点,在入射光路和所述的离轴抛物面反射镜(Li)之间设置第1转接镜(M1)和第2转接镜(M2),所述的第1转接镜(M1)和第2转接镜(M2)的位置或角度通过相应的步进电机来控制。

2.根据权利要求1所述的多路皮秒和纳秒复合高功率激光脉冲系统,其特征在于所述的多路离轴抛物面反射镜设置在靶室的内壁上的方法为:将加工好的多路离轴抛物面反射镜固定在所述的靶室的内壁上,或直接由所述的靶室的内壁打磨形成。

3.权利要求1或2所述的多路皮秒和纳秒复合高功率激光脉冲系统进行多路皮秒脉冲聚焦调节的方法,其特征在于该方法包括下列步骤:

1)根据靶室的尺寸和靶点的位置计算出第i路离轴抛物面反射镜(Li)的焦距fi和离轴量bi,N为靶室的所有皮秒激光脉冲入射光路或离轴抛物面反射镜(Li)的总数;

2)在第i入射光路和第i路离轴抛物面反射镜之间设置第i1转接镜(Mi1)和第i2转接镜(Mi2),在所述的第1转接镜(M1)和第2转接镜(M2)分别设置第i1步进电机(Bi1)和第i2步进电机(Bi2),在所述的靶点位置放置一个CCD,该CCD的输出端与电脑的输入端相连;

3)令i=1,通过第i1步进电机(Bi1)控制第i1转接镜(Mi1)调节第i入射光束的位置,通过第i2步进电机(Bi2)控制所述的第2转接镜(M2)调节第i入射光束的方向(角度),所述的CCD将所监测到的光斑尺寸输入所述的电脑,当所述的电脑显示的光斑尺寸达到最小值时,即完成第i入射光路和第i路离轴抛物面反射镜的聚焦调节;

4)当iN时,令i=i+1,并返回步骤3),当i≥N时,进入下一步;

5)完成聚焦调节。

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