[发明专利]一种PVD装饰镀膜机在审
| 申请号： | 202110742001.3 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113549890A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 黄兴盛;张绍璞;范刚;夏绪干;谢英伟 | 申请（专利权）人： | 厦门阿匹斯智能制造系统有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郭锦辉;陈艺琴 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市集美*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 装饰 镀膜 | ||
1.一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，包括PVD炉体，真空泵组，挂杆组件，靶组件和电控组件，所述真空泵组与所述PVD炉体相连通，所述靶组件安装设置于所述PVD炉体；所述挂杆组件包括转架件和挂杆，所述转架件安装于所述PVD炉体的中部，所述PVD炉体的内径与高度比为0.4～0.5。
2.根据权利要求1所述的一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，所述挂杆为单挂杆，所述挂杆位于所述PVD炉体内的正中间设置。
3.根据权利要求1或2任一所述的一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，所述转架件包括调速电机，密封结构和挂具定位结构，所述调速电机的转轴与所述挂具定位结构同轴连接，所述挂杆连接设置于所述挂具定位结构。
4.根据权利要求3所述的一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，所述密封结构设置于所述调速电机和所述挂具定位结构之间，所述密封结构采用油封方式进行密封。
5.根据权利要求1所述的一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，所述真空泵组包括真空泵和真空管道，所述真空管道与所述PVD炉体相连通。
6.根据权利要求1所述的一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，所述真空泵为分子泵，所述分子泵与插板阀配合实现启闭效果。
7.根据权利要求1所述的一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，所述靶组件包括溅射靶机构，离子源机构和电弧靶机构，所述溅射靶机构、所述离子源机构和电弧靶机构均设置于于所述PVD炉体上。
8.根据权利要求1所述的一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，所述溅射靶机构与所述挂杆相平行设置。
9.根据权利要求1所述的一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，所述电弧靶机构等距布设于所述PVD炉体的侧面。
10.根据权利要求1所述的一种PVD装饰镀膜机，其特征在于，还包括上挂机器人，所述上挂机器人用于挂杆的自动上挂作业。
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