[发明专利]计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法

说明书

本发明提供一种计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法，包括：信息获取单元、信息比对单元和报警单元；信息获取单元用于获取禁跑货物的跑货信息，以及在禁跑区间内，于禁跑货物对应的机台上运行的批次货物的跑货信息；信息比对单元用于将禁跑货物的跑货信息与信息获取单元获取的所有批次货物的跑货信息进行逐一比对，且当比对结果一致时，报警单元发出预警报告至系统前端。因此，通过信息获取单元、信息比对单元和报警单元相互配合，能够实现及时预警与所述禁跑货物具有相同跑货信息的各个批次的货物继续在机台上运行，避免所述各个批次的货物存现相同的缺陷或者因存在其他隐患而导致器件报废，以实现提高监测效率，将缺陷损害程度降到最低。

技术领域

本发明涉及半导体器件制造技术领域，特别涉及一种计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法。

背景技术

在半导体芯片制造过程中，因工艺复杂，制程繁多，故需要较多的机台来实现半导体器件的制备。这些机台不仅种类型号多，而且每一种机台所需的数量也很多，每一机台的工艺状况都决定了制备出来的产品质量的好坏。因此，在生产工艺过程中高效准确的管理好每一机台的工艺状况显得尤为重要。

现有的机台辅助管理系统可以实现对机台的优化和改善，甚至可以执行临时禁止跑货的动作。其中，临时禁止跑货是针对制备流程中半成品货物经某一机台操作后，出现缺陷或者异常情况时，及时停止该批次货流入下一制备环节的指令。在现有的模式中，当某批次货物出现禁止跑货的动作时，采用相同工序的同型号的各批次货物都可能存在相同的缺陷或者潜在的异常情况。操作工程师会根据监控工程师的提醒进行人工检查判断。然而，这种人工监测的方式，不仅效率低，还存在很大的人为风险。因操作工程师的忽视，很容易导致存在隐患的货物依然在各个机台直接运行，并且监控工程师也无法做到及时提醒，如此便会生产出大量的异常器件，严重影响器件的合格率，甚至会造成较大的经济损失。

因此，需要一种新的禁跑货物预警系统及方法，以实现自动预警存在隐患的货物，并及时提醒工程师进行处理，提高监测效率，降低经济损失。

发明内容

本发明的目的在于提供一种计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法，以解决如何实现自动预警存在隐患的货物。

为解决上述技术问题，本发明提供一种禁跑货物预警系统，包括：信息获取单元、信息比对单元和报警单元；

所述信息获取单元用于获取禁跑货物的跑货信息，以及在禁跑区间内，于所述禁跑货物对应的机台上运行的所有批次货物的跑货信息；

所述信息比对单元用于将所述禁跑货物的跑货信息与所述信息获取单元获取的所有所述批次货物的跑货信息进行逐一比对，且当比对结果一致时，所述报警单元发出预警报告至系统前端。

可选的，在所述的禁跑货物预警系统中，每批货物的所述跑货信息包括：所述货物经过的所有机台的站点地址、各个所述站点的经过顺序，以及在每一机台内操作的腔室编号及接口信息。

可选的，在所述的禁跑货物预警系统中，所述禁跑区间包括对所述禁跑货物发出禁跑指令时至解决引起禁跑的缺陷问题时的时间段。

可选的，在所述的禁跑货物预警系统中，所述禁跑货物对应的机台包括对所述禁跑货物发出禁跑指令时，所述禁跑货物上一运行环节的机台。

可选的，在所述的禁跑货物预警系统中，所述预警报告包括所述批次货物的批次编号、过货时间以及所述跑货信息。

基于同一发明构思，本发明还提供一种禁跑货物的预警方法，包括：

对禁跑货物执行禁跑指令，并执行禁跑计时；

采用信息获取单元获取所述禁跑货物的跑货信息，以及在禁跑计时状态下，获取于所述禁跑货物对应的机台上运行的所有批次货物的跑货信息；