[发明专利]矫正装置

说明书

本申请公开了一种矫正装置，该矫正装置包括：位姿获取机构，用于在机械臂将掩膜板移动至卡匣上方且放置于卡匣所定义的支撑面上之前，获取掩膜板与卡匣的相对位姿；位姿调整机构，用于驱动卡匣相对掩膜板运动；控制机构，用于控制位姿获取机构获取掩膜板与卡匣的相对位姿，以及根据相对位姿和掩膜板与卡匣之间的标准位姿控制位姿调整机构驱动卡匣相对掩膜板运动。本申请所提供的矫正装置能够矫正卡匣与掩膜板的相对位置，保证卡匣与掩膜板的对位精准。

技术领域

本申请涉及掩膜板技术领域，特别是涉及一种矫正装置。

背景技术

蒸镀机对输入其腔室的掩膜板位置精度要求高，但是目前的蒸镀机中，在经过将掩膜板多次取放入卡匣中后，掩膜板与卡匣的相对位置可能存在一定偏差且若不及时对该偏差进行纠正，偏差会逐渐增大，最终使得掩膜板偏离标准位置，造成掩膜板开口部位与对应基板像素区域不能对准，从而材料无法精准地沉积到像素区域，最终影响工艺制程中的产品良率。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种矫正装置，能够矫正卡匣与掩膜板的相对位置。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种矫正装置，该矫正装置包括：位姿获取机构，用于在机械臂将掩膜板移动至卡匣上方且放置于所述卡匣所定义的支撑面上之前，获取所述掩膜板与所述卡匣的相对位姿；位姿调整机构，用于驱动所述卡匣相对所述掩膜板运动；控制机构，用于控制所述位姿获取机构获取所述掩膜板与所述卡匣的所述相对位姿，以及根据所述相对位姿和所述掩膜板与所述卡匣之间的标准位姿控制所述位姿调整机构驱动所述卡匣相对所述掩膜板运动。

本申请的有益效果是：本申请在机械臂将掩膜板移动至卡匣上方且放置于卡匣所定义的支撑面上之前，利用矫正装置矫正卡匣与掩膜板的相对位置，实现卡匣与掩膜板的对位精准，能够保证后续产品的良率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1是本申请存储设备一实施方式的结构示意图；

图2是卡匣相对掩膜板沿第一坐标轴平移的示意图；

图3是卡匣相对掩膜板沿第二坐标轴平移的示意图；

图4是卡匣相对掩膜板旋转的示意图；

图5是图1中位姿获取机构获取卡匣与掩膜板的相对位姿的示意图；

图6是一应用场景中第一驱动件、第二驱动件以及第三驱动件的分布示意图；

图7是一应用场景中卡匣相对掩膜板旋转的过程示意图；

图8是一应用场景中第一测距机构进行测量时的示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

参阅图1，图1是本申请存储设备一实施方式的结构示意图，该存储设备1000用于存储掩膜板，其中存储在存储设备1000中的掩膜板放置在卡匣中，后续通过搬运机构将掩膜板以及卡匣一起运转到蒸镀机中。该存储设备1000包括矫正装置1100、承载台1200以及机械臂(图未示)。