[发明专利]一种多区域微调节气浮垫

权利要求书

1.一种多区域微调节气浮垫，其特征在于：包括气浮垫本体(10)，所述气浮垫本体(10)生成气膜(101)的表面上通过十字槽划分出四个区域(1)，每个区域(1)均包括独立的节流孔(4)、进气通道(2)和均压槽(3)；所述进气通道(2)设置在每个区域(1)的气浮垫本体(10)的侧面，均压槽(3)设置在每个区域(1)形成气膜(101)的表面上，节流孔(4)设置在均压槽(3)内，所述节流孔(4)与进气通道(2)相连通；每个区域(1)均包含3个进气通道(2)，在使用时可根据实际情况选择任一进气通道(2)，并利用堵气塞堵上其余的进气通道(2)；所述一种多区域微调节气浮垫的调平判定机构包括底座(5)、激光位移传感器(8)安装板(6)、传感器安装座(7)、四个激光位移传感器(8)和配重(9)，四个激光位移传感器(8)通过传感器安装座(7)固定在激光位移传感器(8)安装板(6)上，激光位移传感器(8)安装板(6)安装在底座(5)上，气浮垫本体(10)生成气膜(101)的平面朝下设置在底座(5)上，气浮垫本体(10)产生气膜(101)后使得气浮垫本体(10)悬浮在底座(5)上，配重(9)固定在气浮垫本体(10)的背面上，四个激光位移传感器(8)的激光方向朝下且正对气浮垫本体(10)上的四个区域(1)。

2.根据权利要求1所述的一种多区域微调节气浮垫，其特征在于：每个区域(1)的均压槽(3)均呈日字型，节流孔(4)设置在日字形的均压槽(3)的拐角处和直线中点处。

3.根据权利要求1所述的一种多区域微调节气浮垫，其特征在于：每个区域(1)的进气通道(2)和每个区域(1)内部的气腔相互独立，每个区域(1)独立控制进气通道(2)内的气流，借此通过节流孔(4)在气浮垫表面形成厚度不一的气膜(101)，通过多区域(1)微调实现气浮垫在不平整平面的调平。

4.根据权利要求1所述的一种多区域微调节气浮垫，其特征在于：气浮垫本体(10)的整体形状呈方柱形或圆柱形。