[发明专利]一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺

权利要求书

1.一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺，其特征在于包括以下步骤：

1.1金属表面预处理：对工件充分清洗，是提高附着力的前提；

1.2进炉抽真空：将待镀工件安装在设备镀膜室内的转盘上，对镀膜室抽真空，真空达到6.6x10-3Pa，将镀膜室真空排气；

1.3洗靶及离子清洗：用离子对待镀工件进行清洗；

1.4镀膜：在涂层用的金属材料与处理炉之间进行电弧放电，金属材料会气化为等离子态，将镀膜元素离子化；

1.5冷却出炉：将氮气或氦气注入处理炉中；

1.6品控管理：利用关设备检查工件与涂层表面状况。

2.根据权利要求1所述的一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺，其特征在于：所述步骤1.1中在进行对待镀工件表面预处理时，要经过超声波清洗、酸洗和漂洗三道工序。

3.根据权利要求2所述的一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺，其特征在于：在经过清洗、酸洗和漂洗三道工序后，要进行烘干，温度控制在100度左右，烘干时间为30分钟。

4.根据权利要求1所述的一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺，其特征在于：所述步骤1.2中在进行真空排气时，镀膜室内的压力大于真空条件的基础压力。

5.根据权利要求1所述的一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺，其特征在于：所述步骤1.2中在进行抽真空后，需要对待镀工件加热，加热温度在150度左右，加热过后通入氩气。

6.根据权利要求1所述的一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺，其特征在于：所述步骤1.3中用离子进行清洗会一直持续整个镀膜过程。

7.根据权利要求1所述的一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺，其特征在于：所述步骤1.4中在进行镀膜时在工件上施加负电压。

8.根据权利要求1所述的一种基于纳米石墨烯复合的金属表面涂层的工艺，其特征在于：所述步骤1.5中冷却出炉前需要关闭电弧电源和偏压电源，接着关闭气源和停转架。