[发明专利]一种激光抛光与表面改性设备

权利要求书

1.一种激光抛光与表面改性设备，其特征在于，包括机箱和设于所述机箱内部的激光发生器以及设于所述机箱上的光束整形器、用于放置工件的装载机构和用于控制所述激光发生器出射激光的计算机，所述光束整形器包括用于将所述激光发生器出射的高斯光束转换为平顶光束的DOE转换器以及用于将所述平顶光束照射于工件表面的扫描振镜，所述装载机构设于所述扫描振镜的下方。

2.根据权利要求1所述的一种激光抛光与表面改性设备，其特征在于，所述扫描振镜包括用于调节所述平顶光束直径的扩束镜以及用于调节所述平顶光束发散角的移动镜和聚焦镜。

3.根据权利要求1所述的一种激光抛光与表面改性设备，其特征在于，所述装载机构包括安装在所述机箱上的定位调节组件以及安装在所述定位调节组件上的载物台。

4.根据权利要求3所述的一种激光抛光与表面改性设备，其特征在于，所述定位调节组件包括可分别沿X轴、Y轴、Z轴方向移动的直线模组以及与所述直线模组连接的连接板。

5.根据权利要求4所述的一种激光抛光与表面改性设备，其特征在于，所述载物台上设有用于放置工件的密封腔以及若干用于连接所述连接板的第一安装孔，所述第一安装孔分布在所述密封腔周侧。

6.根据权利要求4所述的一种激光抛光与表面改性设备，其特征在于，所述直线模组包括丝杆、套设于所述丝杆上的螺母、与所述螺母连接的滑块以及用于驱动所述丝杆转动的电机。

7.根据权利要求4所述的一种激光抛光与表面改性设备，其特征在于，所述连接板上设有若干用于固定所述载物台的第二安装孔。