[发明专利]管道支架及溅镀真空管路

说明书

本发明涉及一种管道支架及使用该管道支架对真空管道进行支撑固定的溅镀真空管路，所述管道支架通过设置底座和固定座，底座与固定座之间通过支杆连接，支杆靠近底座一端可伸入底座内侧且伸入长度可通过调节件调节，从而实现支杆的升降设计，进而调节底座与固定座之间的间距，调节管道支架的整体高度，固定环的设计，可对管道进行限制、固定，避免管道因剧烈振动出现裂管。

技术领域

本发明涉及管道支撑技术领域，特别涉及一种管道支架及使用该管道支架进行固定的溅镀真空管路。

背景技术

溅镀是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。真空环境的形成，需要真空泵通过管路抽真空来实现。现有的管路固定支架，结构简单，固定支架在地面或工作面的固定方式是胶水粘附，经长时间使用，胶水风干脱胶，导致固定支架不稳固，形同虚设。而且，真空泵在抽真空时，管路振动较大，价值固定支架不稳固，存在裂管风险，造成溅镀设备宕机。

发明内容

本发明目的在于，解决现有管路固定支架不稳固的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种管道支架，包括：相对设置的底座和固定座，所述固定座用于支撑管道；至少一根支杆，设置于所述底座与所述固定座之间，所述支杆的一端伸入所述底座内侧且伸入长度可调，所述支杆的另一端与所述固定座连接以支撑所述固定座；以及调节件，与所述支杆连接以调节所述支杆伸入所述底座内侧的长度，调节所述底座与所述固定座之间的间距。

可选的，所述支杆的数量为两根或两根以上，间隔排布于所述底座与所述固定座之间，一根所述支杆对应一根所述调节件。

可选的，所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的块体，所述块体表面开设有与所述支杆相对应的槽孔；所述支杆为螺杆，所述调节件为螺母，所述支杆伸入所述槽孔，所述调节件套设于所述支杆并设置于所述底座表面。

可选的，所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的箱体，所述箱体朝向所述固定座一面开设有与所述支杆相对应的通孔；所述支杆为螺杆，所述调节件为螺母，所述支杆由所述通孔伸入所述箱体内侧，所述调节件套设于所述支杆并设置于开设所述通孔的箱体表面。

可选的，所述底板表面开设固定孔，所述固定孔内插设有固定件。

可选的，所述固定座远离所述底座一面设置有用于固定管道的固定环。

可选的，所述固定座远离所述底座一面开设有一槽体，所述固定环的一部分位于所述槽体内，所述固定环的另一部分与位于所述固定环内侧的所述固定座的上表面形成用于固定所述管道的固定腔。

可选的，所述槽体的两侧壁的上端面分别内弯形成限位部。

可选的，所述固定环远离所述槽体一端开设开口，对应所述开口两端的所述固定环分别弯折形成弯折部，两所述弯折部通过锁定件连接。

为实现上述目的，本发明还提供一种溅镀真空管路，所述溅镀真空管路包括前所述的管道支架。

本发明的有益效果在于，本发明提供一种管道支架及使用该管道支架进行支撑固定的溅镀真空管路，所述管道支架通过底座、支杆、固定座以及固定环的配合对管道进行支撑和固定，降低管道振动强度，避免管道出现裂管风险，保障溅镀设备平稳运行，不会出现宕机风险；底座、支杆以及调节件的配合设计，可实现支杆的上升或下降，继而调节底座与固定座之间的间距，调节管道支架的整体高度。

附图说明

下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1是本发明一示例性实施例中的管道支架的结构示意图；

图2是本发明一示例性实施例中的管道支架中底座的结构示意图；