[发明专利]一种真空绑定靶材的设备

权利要求书

1.一种真空绑定靶材的设备，包括箱体（1），箱体（1）的右端设置有抽真空机构，箱体（1）的内壁上铺设有加热层（2），其特征在于：

箱体（1）的顶部设置有开关舱门（3），开关舱门（3）的上方设置有横向滑槽（4），横向滑槽（4）的下端设置有滑块（5），滑块（5）与横向滑槽（4）左侧壁上设置的推动气缸（6）相连接，滑块（5）的下端设置有与开关舱门（3）相连接有升降气缸（7），升降气缸（7）的两侧设置有升降电机（8），升降电机（8）穿过开关舱门（3）与下端设置的限位块（9）相连接，限位块（9）的下表面设置有吊装钩（10）；

箱体（1）的下表面设置有放置凹槽（11），放置凹槽（11）的侧壁上分布有定位块（12），定位块（12）穿过箱体（1）连接有螺纹定位杆（13）。

2.根据权利要求1所述的一种真空绑定靶材的设备，其特征在于：限位块（9）为半月型的且限位块（9）的右侧通过伸缩杆（14）连接有灌料机构，限位块（9）与灌料机构组合后的横截面为圆形。

3.根据权利要求2所述的一种真空绑定靶材的设备，其特征在于：灌料机构包括存料盒（15)，存料盒（15)的底部左端设置有加温器（16)，存料盒（15)的中部下端设置有灌料管（17)，灌料管（17)上设置有自动开关阀（18)。

4.根据权利要求1所述的一种真空绑定靶材的设备，其特征在于：抽真空机构包括有真空气管（19)连接的真空机械泵（20)，真空气管（19)上设置有真空计（21)，真空计（21)与真空机械泵（20)之间的真空气管（19)上设置有开关阀门（22)。

5.根据权利要求1所述的一种真空绑定靶材的设备，其特征在于：箱体（1）的底部表面设置有通风口（23)，通风口（23)通过冷却气管（24)与冷却泵（25)相连接，冷却气管（24）上设置有抽拉式的开关门（26），冷却气管（24)内分布有过滤层(27)。

6.根据权利要求1所述的一种真空绑定靶材的设备，其特征在于：箱体（1）的外壁上设置有采用耐高温玻璃制成的观察窗口(28)。