[发明专利]传感器装置、和用所述传感器装置来感测介质中的目标流体的量或浓度的方法

权利要求书

1.一种传感器装置，包括：

具有常闭(NC)安全阀的第一微型泵，

具有常闭安全阀的第二微型泵，以及

具有传感器腔室的传感器，在所述传感器腔室中具有传感器元件，其中所述传感器被配置成基于在所述传感器腔室中的流体的状态来提供传感器输出信号，

其中所述传感器的所述传感器腔室被流体地耦接在所述第一微型泵和所述第二微型泵之间，并且

其中所述第一微型泵和所述第二微型泵被配置成基于所述第一微型泵和所述第二微型泵的对应的启动状态来提供所述传感器装置的限定的操作模式，以提供：(1)在所述传感器腔室中的限定的负流体压力，(2)在所述传感器腔室中的限定的正流体压力，或(3)通过所述传感器腔室的限定的流体流量。

2.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述第一微型泵和所述第二微型泵被布置成流体串联连接并且具有相同的流体泵送方向。

3.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，在第一操作模式中，所述第一微型泵处于断开状态并且所述第二微型泵处于接通状态，以在所述传感器腔室中提供所述限定的负流体压力，

其中，在第二操作模式中，所述第一微型泵处于接通状态并且所述第二微型泵处于断开状态，以在所述传感器腔室中提供所述限定的正流体压力，

和/或

其中，在第三操作模式中，所述第一微型泵处于接通状态并且所述第二微型泵处于接通状态，以提供通过所述传感器腔室的所述限定的流体流量。

4.根据权利要求3所述的传感器装置，其中，所述第二操作模式包括第一部分操作模式和后续的第二部分操作模式，

其中，在所述第一部分操作模式中，所述第一微型泵处于接通状态并且所述第二微型泵处于断开状态，以在所述传感器腔室中提供所述限定的正流体压力，并且

其中，在所述后续的第二部分操作模式中，所述第一微型泵处于断开状态并且所述第二微型泵处于断开状态以在所述传感器腔室中提供限定的流体量。

5.根据权利要求1所述的传感器装置，还包括：

压力传感器，所述压力传感器位于所述传感器腔室中或被流体地耦接至所述传感器腔室，以测量所述传感器腔室中的流体压力。

6.根据权利要求1所述的传感器装置，还包括：

加热元件，所述加热元件位于所述传感器腔室中或被热耦接至所述传感器腔室，以对在所述传感器腔室中的所述流体和/或所述传感器的所述传感器元件进行加热。

7.根据权利要求1所述的传感器装置，还包括：

温度传感器，所述温度传感器位于所述传感器腔室中或被热耦接至所述传感器腔室，以测量在所述传感器腔室中的温度。

8.根据权利要求1所述的传感器装置，还包括：

处理装置(50)，所述处理装置(50)被配置成控制所述第一微型泵(10)和所述第二微型泵(20)的操作模式，以及用于读出在调整后的操作模式中所述传感器(30)的传感器输出信号(S_OUT)。

9.根据权利要求8所述的传感器装置，

其中，所述处理装置被配置成控制加热元件的操作模式、以及对耦接至所述传感器的所述传感器腔室的压力传感器和/或温度传感器进行读数。

10.根据权利要求8所述的传感器装置，其中，所述处理装置被配置成：(1)控制所述第一微型泵和所述第二微型泵的操作模式以调整在所述传感器腔室中的流体压力和/或通过所述传感器腔室的所述流体通过量；(2)控制所述加热元件以调整在所述传感器腔室中的不同温度；以及(3)读出不同温度下的所述传感器输出信号。

11.根据权利要求8所述的传感器装置，其中，所述处理装置被配置成确定包括与所读出的传感器输出信号有关的信息(1)、与所述第一微型泵和所述第二微型泵的操作模式有关的信息(2)、以及与在所述传感器腔室中的不同温度有关的信息(3)的传感器矩阵。