[发明专利]一种真空界面阀

权利要求书

1.一种真空界面阀，其包括： 中空的腔体，腔体设有进口和出口；腔体内设有用于密封出口的薄膜片以及用于驱动薄膜片远离出口的弹性件； 其特征于：还包括：主通气通道和副通气通道； 主通气通道的一端与薄膜片内侧的空间连通； 副通气通道的一端与薄膜片外侧的空间连通； 控制阀，设置于主通气通道和副通气通道之间，并控制主通气通道和副通气通道的连通； 检测单元，用于检测外界的环境参数，检测单元与控制阀连接；当环境参数达到阈值时，控制阀打开，主通气通道与副通气通道连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空界面阀，其特征于：所述腔体的一侧开口，开口与腔体的出口相对设置；且该侧连接有一端开口的壳体，壳体连接有盖体，壳体的底板与腔体固定连接；所述副通气通道设置于腔体，壳体设有主气孔，主气孔与副通气通道连通或通过管道连通；主气孔或副通气通道内设有止回阀；所述主通气通道设置于壳体的底板，或者所述主通气通道设置于腔体；当主通气通道设置于腔体时，壳体设有副气孔，副气孔与主通气通道连通或通过管道连通；所述控制阀设置于壳体内，控制阀设有两个接口，其中一个接口通过中间组件与主通气通道的另一端连接；另一个接口通过中间组件与主气孔连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空界面阀，其特征于：薄膜片的外围夹持于腔体与壳体的底板之间。

4.根据权利要求2所述的一种真空界面阀，其特征于：所述腔体的中部向开口方向延伸有中间管，中间管的一侧向外延伸有出口连接部，出口连接部伸出腔体；中间管和出口连接部内部形成L形空间，所述腔体的出口为中间管的端部。

5.根据权利要求1所述的一种真空界面阀，其特征于：所述腔体在远离出口的一侧开口，该侧连接有腔盖，所述腔体在出口的旁侧连接有一端开口的壳体，壳体连接有盖体；壳体设有主气孔和副气孔，控制阀设置于壳体内，所述腔盖的侧面向壳体延伸有连通管，连通管内部形成所述的主通气通道，连通管与副气孔连通或通过管道与副气孔连通；副通气通道设置于腔体，副通气通道的另一端与主气孔连通或通过管道与主气孔连通；控制阀设有两个接口，其中一个接口通过中间组件与副气孔连接，另一个接口通过中间组件与主气孔连接。

6.根据权利要求5所述的一种真空界面阀，其特征于：所述薄膜片的外围夹持于腔体与腔盖之间。

7.根据权利要求2或5所述的一种真空界面阀，其特征于：所述薄膜片连接有连接件，连接件与弹性件的一端连接，弹性件的另一端与壳体或腔体连接。

8.根据权利要求2或5所述的一种真空界面阀，其特征于：中间组件包括管道；再优选地，中间组件的管道两端中的至少一端设有接头。

9.根据权利要求2或5所述的一种真空界面阀，其特征于：所述进口向外延伸有进口连接部或/和所述出口向外连接有出口连接部。

10.根据权利要求2或5所述的一种真空界面阀，其特征于：所述壳体内设有控制电路板，检测单元通过控制电路板与控制阀电连接；所述壳体设有穿孔。