[发明专利]用于抑制规则噪声的衍射光学元件设计方法

权利要求书

1.一种用于抑制规则噪声的衍射光学元件设计方法，包括：

a.确定衍射光学元件所要投射的具有第一特定图案的第一目标光场；

b.在所述第一目标光场中加入背景噪声，由此得到具有由第一目标光场的第一特定图案和背景噪声构成的第二特定图案的第二目标光场；和

c.根据所述第二目标光场设计得到所述衍射光学元件的相位分布，

其中，添加所述背景噪声用于在使用具有所述相位分布的所述衍射光学元件投射时，显示具有第一特定图案的第一目标光场，从而抑制所述衍射光学元件所投射的图案中包含的具有一定强度且与第一特定图案相关联的规则噪声。

2.根据权利要求1所述的衍射光学元件设计方法，其中，所述方法还包括：

d.基于设计得到的所述衍射光学元件的相位分布进行仿真得到仿真光场，对所述仿真光场的效果进行评估，根据评估结果调整所述背景噪声；和

e.重复步骤b-d，直到所述仿真光场的效果达到设计要求。

3.根据权利要求2所述的衍射光学元件设计方法，其中，所述步骤d中，根据评估结果调整所述背景噪声，包括调整所述背景噪声的强度和所述背景噪声的分布面积中的至少一项。

4.根据权利要求3所述的衍射光学元件设计方法，其中，步骤d包括：如果所述仿真光场与所述第一目标光场相比较存在所述背景噪声之外的与所述第一目标光场相关联的规则噪声，则增大所述背景噪声的强度和所述背景噪声的分布面积中的至少一项。

5.根据权利要求3所述的衍射光学元件设计方法，其中，步骤d包括：如果所述仿真光场与所述第一目标光场相比较不存在所述背景噪声之外的与所述第一目标光场相关联的规则噪声，但是所述仿真光场的效率小于设计要求，则减小所述背景噪声的强度和所述背景噪声的分布面积中的至少一项。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的衍射光学元件设计方法，其中，所述背景噪声分布在所述第一目标光场的全局中。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的衍射光学元件设计方法，其中，所述背景噪声分布在所述第一目标光场的局部连续区域中，且所述局部连续区域覆盖所述第一特定图案。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的衍射光学元件设计方法，其中，所述背景噪声为均匀噪声。

9.根据权利要求1-5中任一项所述的衍射光学元件设计方法，其中，所述背景噪声为随机强度噪声。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的衍射光学元件设计方法，其中，所述背景噪声的强度从所述第一特定图案向空白区域逐渐降低。

11.根据权利要求1-5中任一项所述的衍射光学元件设计方法，其中，所述步骤c还包括，将所述第二目标光场根据光强赋予灰度值，光强最大则灰度值为最大值max，无光强则灰度值为0，所述背景噪声对应的灰度值g满足：0g/max≤0.05，根据由灰度值表示的所述第二目标光场计算所述衍射光学元件的相位分布。