[发明专利]镀膜脆性材料的激光加工装置及其方法在审
| 申请号： | 202110608629.4 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113146072A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;田超 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/064;B23K26/06;B23K26/067 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 脆性 材料 激光 加工 装置 及其 方法 | ||
1.镀膜脆性材料的激光加工装置，其特征在于：激光器(1)的输出光路上依次布置有半波片(2)和分光立方体(3)；
分光立方体(3)的原方向出射的P光光路布置有第一反射镜(4)、聚焦镜(5)、第一衍射镜(6)、第二反射镜(7)，第二反射镜(7)的反射光路与偏振分光合束镜(9)相对；
分光立方体(3)的垂直方向出射的S光光路布置有第二衍射镜(8)，第二衍射镜(8)的输出光路与偏振分光合束镜(9)相对；
偏振分光合束镜(9)的输出光路布置有物镜(10)，物镜(10)正对于加工平台(11)。
2.根据权利要求1所述的镀膜脆性材料的激光加工装置，其特征在于：半波片(2)安装于旋转电机上。
3.根据权利要求1所述的镀膜脆性材料的激光加工装置，其特征在于：第二反射镜(7)与偏振分光合束镜(9)之间的光路上布置有第一光闸。
4.根据权利要求1所述的镀膜脆性材料的激光加工装置，其特征在于：第二衍射镜(8)与偏振分光合束镜(9)之间的光路上布置有第二光闸。
5.根据权利要求1所述的镀膜脆性材料的激光加工装置，其特征在于：所述激光器(1)为1064nm波长、最大功率25W、脉宽小于15ps的超短脉冲固体激光器。
6.根据权利要求1所述的镀膜脆性材料的激光加工装置，其特征在于：所述偏振分光合束镜(9)采用50％反射、50％透射的半透半反镜。
7.镀膜脆性材料的激光加工方法，其特征在于：激光器(1)发出的光束经过半波片(2)后进入分光立方体(3)，P光经分光立方体(3)后从原方向出射，S光则从垂直方向出射；
从分光立方体(3)原方向出射的光束，经第一反射镜(4)后进入聚焦镜(5)，聚焦后再进入第一衍射镜(6)，再经第二反射镜(7)后进入偏振分光合束镜(9)；
从分光立方体(3)垂直方向出射的光束进入第二衍射镜(8)，继而也进入偏振分光合束镜(9)；
从偏振分光合束镜(9)出射的P光经过物镜(10)实现成丝切割，从偏振分光合束镜(9)出射的S光经过物镜(10)实现环形光斑刻蚀。
8.根据权利要求7所述的镀膜脆性材料的激光加工方法，其特征在于：半波片(2)安装在旋转电机上，驱动半波片(2)可以以垂直其中心的轴线进行360度任意角度旋转，旋转电机带动半波片(2)角度变化，使得出射的P光和S光的比例发生变化。
9.根据权利要求7所述的镀膜脆性材料的激光加工方法，其特征在于：激光器(1)输出1064nm波长的皮秒激光。
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