[发明专利]间歇式热处理炉

说明书

本发明提供一种间歇式热处理炉，其抑制炉内气氛的不均匀化。间歇式热处理炉(10)包括：炉体(12)，其具备顶壁和侧壁(14)；炉床(20)，其具备供被处理物载放的上表面；多个加热器(30)，它们配置在炉体内，并且，配置于侧壁与被处理物之间，且沿着侧壁而在周向上空开间隔地配置；以及多个气体吹出口，它们用于向炉体内供给气氛气体。由炉体和炉床形成的炉内的形状具有圆柱形状。多个气体吹出口在圆柱形状的炉内的径向上位于加热器与侧壁之间，且在圆柱形状的炉内的周向上位于周向上相邻的加热器之间。从多个气体吹出口吹出气体的气体吹出方向为炉内方向。

技术领域

本说明书中公开的技术涉及一种用于对被处理物(例如：陶瓷电容器、陶瓷压电元件、陶瓷电阻器等层叠陶瓷元器件等)进行热处理的间歇式热处理炉。

背景技术

为了将被处理物的热处理后的特性稳定化，需要使热处理时的炉内温度和炉内气氛均匀化。专利文献1的间歇式热处理炉中，在周向上空开间隔地配置有多个加热器，在与各加热器相对应的位置配置有气体吹出口。气体吹出口配置于加热器与炉内壁面之间，来自气体吹出口的气氛气体由加热器进行加热，同时向炉内供给。由此，实现了炉内温度的均匀化和炉内气氛的均匀化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005－77001号公报

发明内容

专利文献1的间歇式热处理炉中，将气氛气体利用加热器进行加热，同时向炉内供给，因此，气体吹出口被限制在与加热器相对应的位置。即，在未设置加热器的位置没有设置气体吹出口。其结果，专利文献1的间歇式热处理炉中存在着炉内气氛容易变得不均匀的问题。特别是，在间歇式热处理炉内进行的热处理之中，有时在热处理中更换炉内的气氛。这种情况下，需要迅速置换炉内气氛，从气体吹出口向炉内供给大量气氛气体。如果气体吹出口被限制在加热器的位置，则从有限的气体吹出口供给大量的气氛气体，因此，炉内气氛容易不均匀化。

本说明书公开了能够抑制炉内气氛不均匀化的技术。

本说明书中公开的间歇式加热炉包括：炉体，该炉体具备顶壁和侧壁；炉床，该炉床具备供被处理物载放的上表面；多个加热器，该多个加热器配置在炉体内，并且，配置于侧壁与被处理物之间，且沿着侧壁而在周向上空开间隔地配置；以及多个气体吹出口，该多个气体吹出口用于向炉体内供给气氛气体。由炉体和炉床形成的炉内的形状呈圆柱形状。多个气体吹出口在圆柱形状的炉内的径向上位于加热器与侧壁之间，且在圆柱形状的炉内的周向上位于周向上相邻的加热器之间。并且，从多个气体吹出口吹出气体的气体吹出方向为炉内方向。

上述的间歇式加热炉中，多个气体吹出口在圆柱形状的炉内的径向上位于加热器与侧壁之间。因此，从比加热器更接近外侧的侧壁的位置向炉内供给气氛气体。另外，多个气体吹出口在圆柱形状的炉内的周向上位于周向上相邻的加热器之间。因此，能够在周向上相邻的加热器之间以所期望的配置来设置气体吹出口。据此，能够抑制炉内气氛的不均匀化。

应予说明，上述的“位于加热器与侧壁之间”包括：位于与加热器相同位置的情形、或者位于与侧壁相同位置的情形。

附图说明

图1是实施例1所涉及的间歇式热处理炉的横截面图。

图2是实施例1所涉及的间歇式热处理炉的纵截面图。

图3是用于说明加热器与气体导入管的周向上的位置关系的图，且是将从炉的中心观察的炉内壁面、加热器及气体导入管在周向上展开得到的图。

图4是用于说明从气体导入管吹出气体的方向的图。

图5是从设置有气体吹出口一侧观察气体导入管得到的图。

图6是变形例所涉及的间歇式热处理炉的横截面图。

图7是用于说明变形例的气体导入管的构成的图。