[发明专利]一种光学麦克风

权利要求书

1.一种光学麦克风，其特征在于，包括：

压电换能器，用于接收声能、驱动所述压电换能器的压电复合振动层振动，并转换为压电信号；

控制电路，接收所述压电信号，当所述压电信号大于设定阈值时，发出启动信号；

光源，接收所述启动信号并发射光信号；

反射层，用于接收并反射所述光信号；

光检测器，接收经反射的所述光信号。

2.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，当所述压电信号小于所述设定阈值时，所述控制电路停止发出所述启动信号。

3.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述控制电路、所述光源、所述光检测器构成光电模块。

4.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述光学麦克风还包括外壳和基板，所述外壳和所述基板构成收容腔；所述控制电路、所述光源和所述光检测器位于在所述收容腔内。

5.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述压电换能器包括：

衬底，具有空腔；

支撑层，形成在所述衬底上方，并且覆盖所述空腔；

第一电极层，形成所述支撑层上方；

压电层，形成在所述第一电极层上方；

第二电极层，形成所述压电层上方；

其中，所述压电复合振动层包括所述支撑层、所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层。

6.根据权利要求5所述的光学麦克风，其特征在于，所述反射层形成在所述第二电极层上方，并且所述反射层随所述压电复合振动层的振动而振动。

7.根据权利要求5所述的光学麦克风，其特征在于，所述支撑层用作所述反射层，所述支撑层接收并反射所述光信号。

8.根据权利要求5所述的光学麦克风，其特征在于，所述第二电极层用作所述反射层，所述第二电极层接收并反射所述光信号。

9.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述光学麦克风还包括光栅，所述光栅设置在所述反射层和所述光源之间。