[发明专利]形成三维微结构的方法和装置

权利要求书

1.一种形成三维微结构的方法，包含：

让一光罩数组与被一光阻层覆盖的一底材沿着一扫描线进行相对运动，在此光罩数组具有排列成为一数组的具有特殊轮廓的至少一光罩，在此扫描线系与光罩数组的排列方向相互交叉；以及

在光罩数组与底材进行相对运动的期间，投射光线经过光罩数组而到达光阻层，借以形成具有对应到待形成三维微结构的轮廓的图案化光阻层；以及

在相对运动结束与图案化光阻层形成后，进行蚀刻程序借以在底材上形成三维微结构。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，更包含至少下列之一:

让光罩数组与底材以固定速率沿着扫描线进行相对运动；

仅让光罩数组沿着扫描线移动；以及

仅让底材沿扫描线移动。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，更包含至少下列之一:

让光罩数组上各个光罩在垂直于扫描线的方向上的投影是均匀地分布；

让光罩数组上至少M个光罩在垂直于扫描线的方向上的投影是相互重迭，在此M为大于1的正整数；以及

让光罩数组相对于扫描线旋转一个角度在此N为旋转角度为零时光罩数组沿着扫描线方向所具有的光罩数量。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，更包含在光罩数组与底材的相对运动期间不同的一第一时刻与一第二时刻，分别地让来自一光点数组的第一光点组与第二光点组的光线经过光罩数组而抵达光阻层，在此第一光点组所包含的一或多光点是不同于第二光点组所包含的一或多光点，在此光点数组的运作至少包含下列之一:

不同的光点可以个别地被开启或被关闭；

不同的光点可以个别地被调整所产生光线的强度；以及

使用具有至少一数字微反射镜的一数字微反射镜数组来作为此光点数组，在此不同的数字微反射镜可以个别地被开启、被关闭及/或被调整所产生光线的强度。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，更包含至少根据所要形成三维微结构的轮廓与光阻的材料，设定光罩数组中各个光罩的轮廓，系使用下列三维结构形貌方程式来根据所需要的三维微结构的轮廓以反推如何形成需要的图案化光阻层:在此h(x,y)为在卡氏坐标(x,y)处经过累积剂量I(x,y)的曝光强度后光阻在显影后所得到的结构深度，hmax为光阻层厚度，I₀为累积曝光剂量阀值，A、B与k为三个系数，(x₁，y₁)与(x₂，y₂)分别为扫描线起点与终点的卡氏坐标，(Δx,Δy)分别为沿着扫描线的微小步进，而v为光罩数组与底材沿着扫描线的相对运动速度。

6.一种形成三维微结构的装置，其特征在于，包含：

一光罩数组，是配置成具有排列成为一数组的具有特殊轮廓的至少一光罩；

一驱动总成，是配置来让光罩数组与被一光阻层所覆盖的一底材二者沿一扫描线进行相对运动，在此扫描线系与光罩数组的排列方向相互交叉；

一光点数组，是配置成具有可以个别地运作并且排列成一数组的至少一光点；

在此当光罩数组与底材进行相对运动的期间光点数组提供光线，借以形成具有对应到待形成三维微结构的轮廓的图案化光阻层；以及

一蚀刻总成，是配置来在相对运动结束与图案化光阻层形成好后，进行蚀刻程序借以在底材上形成三维微结构。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，更包含至少下列之一:

驱动总成让光罩数组与底材以固定速率沿着扫描线进行相对运动；

驱动总成仅让光罩数组沿着扫描线移动；

驱动总成仅让底材沿扫描线移动；以及

光罩数组中每一个数组都具有相同的形状、相同的大小与相同的排列方向。