[发明专利]一种大灵敏面X射线光谱平响应二极管探测器

权利要求书

1.一种大灵敏面X射线光谱平响应二极管探测器，包括外壳（4），其特征在于：所述的外壳（4）内由前到后依次布置有阳极网（6）和光阴极（7），光阴极（7）的材质为黄铜，光阴极（7）的前表面为抛光面，抛光面上设有Cr层，Cr层上设有Au层；

所述的阳极网（6）的前端设有复合滤片（2）；

所述的复合滤片（2）为Au薄膜，Au薄膜采用Au筛网支撑，Au薄膜为60~80 nm厚，有效口径为20~25 mm，Au筛网为均匀分布的蜂窝状孔结构，为360~400 nm厚，筛孔直径为5~10 μm，开孔面积比为10~15%；

所述的外壳（4）为前柱后锥的外形结构。

2.根据权利要求1所述的大灵敏面X射线光谱平响应二极管探测器，其特征在于：所述的阳极网（6）的材质为Ni。

3.根据权利要求1所述的大灵敏面X射线光谱平响应二极管探测器，其特征在于：所述的Cr层为100~200 nm厚，Au层为500 nm~1μm厚。

4.根据权利要求1或3所述的大灵敏面X射线光谱平响应二极管探测器，其特征在于：所述的光阴极（7）为圆片结构，直径为20~25 mm，厚度为3~4 mm。

5.根据权利要求1所述的大灵敏面X射线光谱平响应二极管探测器，其特征在于：所述的外壳（4）内设有储能电容组件（10），阳极网（6）和光阴极（7）位于储能电容组件（10）中，高压馈入组件（11）与高压电源（12）连接，高压馈入组件（11）插入外壳（4）中并与储能电容组件（10）连接，光阴极（7）设在射频信号传输组件（8）上，射频信号传输组件（8）与示波器（9）连接。

6.根据权利要求5所述的大灵敏面X射线光谱平响应二极管探测器，其特征在于：所述的高压馈入组件（11）包括高压插头（26），高压插头（26）的一端与高压电缆（25）连接，高压插头（26）的另一端与高压插座（27）连接，高压插座（27）与限流电阻（29）连接，限流电阻（29）与高压接线座（30）连接，高压接线座（30）与弹簧片（31）连接。

7.根据权利要求5所述的大灵敏面X射线光谱平响应二极管探测器，其特征在于：所述的射频信号传输组件（8）包括渐变锥（33），渐变锥（33）的前端设有定位支撑架（32），光阴极（7）设在定位支撑架（32）上，渐变锥（33）的后端设有射频输出座（34），射频输出座（34）通过高带宽射频电缆（35）与示波器（9）连接。