[发明专利]功率半导体器件测试系统

说明书

本发明公开了一种功率半导体器件测试系统，包括数据采集模块，数据预处理模块，信号放大模块，DC‑DC转换模块，主控MCU模块，切换模块，电流测试模块，电压测试模块，功率测试模块；所述数据采集模块通过数据预处理模块将电源信息输入至该信号放大模块；所述信号转换放大模块将放大信号通过DC‑DC转换模块输入至该主控MCU模块；所述主控MCU模块通过切换模块分别控制电流测试模块、电压测试模块、功率测试模块。本发明在于提供一种智能化程度高，测试精准，结构合理，成本较低，功能多样，可靠性强的一种功率半导体器件测试系统。

技术领域

本发明涉及电子元器件测试技术领域，尤其涉及一种功率半导体器件测试系统。

背景技术

与集成电路的工艺复杂度相比较，功率半导体器件工艺步骤相对较少，并且工艺精度相对要求较低，因此，国内大力发展功率半导体器件。随着功率半导体产业不断走高，同时也带来了测试设备市场的强大需求。目前国内几大半导体厂商公司仍然大量依赖国外的测试设备，面对日益庞大的功率半导体市场，为了不像芯片一样再次被某些发达国家限制，为了摆脱测试设备的进口依赖，测试设备的国产替代显得尤为重要。

功率半导体测试分析是功率半导体设计、制造、封装的重要核心测试设备，解决国产替代的进程将有利于我国本土功率半导体产业的快速发展，只有功率半导体测试设备生产水平提高了才能和功率半导体厂商相结合推动我国功率半导体产业的快速发展。功率半导体产业的发展需要电子科学与技术相关高校、科研院所提供技术人才，通过不断的进行实验验证，才能设计出稳定的电路系统与功率器件，达到功率半导体器件的技术要求。

然而，国外的半导体功率器件测试仪器价格昂贵，采购及维护周期长，国内搭建的测试平台也相对较为陈旧与笨重，测试精度不高。

中国专利申请号为：201920273272.7，申请日是:2019年03月05日，公开日是：2019年12月06日，专利名称为：功率半导体器件功率循环测试系统，该发明公开了一种智功率半导体器件功率循环测试系统，设有控制电路及由控制电路控制的稳压电源、制冷装置及被测器件驱动电路；所述稳压电源的输出分别与多个检测支路相接；所述检测支路设有与稳压电源相接的检流电阻，与检测电阻串联有由控制电路控制开断的低阻开关器件，与低阻开关器件并联有分压电阻，所述检流电阻两端与模拟信号选择电路相接，模拟信号选择电路的输出与电压信号采集电路相接；所述电压信号采集电路的输出与控制电路相接；测试时，所述被测器件驱动电路与被测器件栅极相接，所述低阻开关器件与被测器件相串联，所述模拟信号选择电路亦接于被测器件源极与漏极之间。

上述专利文献公开了一种功率半导体器件功率循环测试系统，但是该专利系统测试不够准确，功能单一，成本较高，不能满足市场需求。

发明内容

有鉴于此，本发明在于提供一种智能化程度高，测试精准，结构合理，成本较低，功能多样，可靠性强的一种功率半导体器件测试系统。

为了实现本发明目的，可以采取以下技术方案：

一种功率半导体器件测试系统，包括数据采集模块，数据预处理模块，信号放大模块，DC-DC转换模块，主控MCU模块，切换模块，电流测试模块，电压测试模块，功率测试模块；

所述数据采集模块，用于采集输入电源信息；所述数据预处理模块，用于对采集信息预先处理；所述信号放大模块，用于对信号放大，所述 DC-DC转换模块，用于直流电压转换；所述主控MCU模块，用于控制分析信号信息；所述切换模块，用于控制切换测试信号；所述电流测试模块，用于测试电流信号；所述电压测试模块，用于测试电压信号；所述功率测试信号，用于测试功率信号；

所述数据采集模块通过数据预处理模块将电源信息输入至该信号放大模块，所述信号放大模块将放大信号通过DC-DC转换模块输入至该主控 MCU模块；所述主控MCU模块通过切换模块分别控制电流测试模块、电压测试模块、功率测试模块。