[发明专利]一种石英管弯管装置及方法

说明书

本发明公开了一种石英管弯管装置及方法，旨在解决石英管弯管操作不便，弯管效果不佳的不足。该发明包括机座、稳压机构、弯管驱动机构，机座上安装定位杆，定位杆上安装可移动的调节块，调节块上设有定位孔，石英管与定位孔活动插装在一起；稳压机构包括稳压罐、气管、安装座，安装座安装在机座上，石英管安装在安装座上，气管与稳压罐连通，气管与石英管一端连通，石英管另一端连接密封塞；弯管驱动机构包括转轴、装夹活塞缸，装夹活塞缸伸缩杆上连接装夹推块，转轴外壁上设有弯管凹槽，石英管装夹在弯管凹槽和装夹推块之间。这种石英管弯管装置方便了石英管的弯管操作，弯管效果好，有利于提高工作效率。

技术领域

本发明涉及一种石英管弯管技术，更具体地说，它涉及一种石英管弯管装置及方法。

背景技术

目前，随着IC行业的高速发展，半导体设备制造行业随之日渐成熟，石英玻璃产品属于半导体设备中的重要组成产品，需求也与日俱增。因石英玻璃具有高硬度、高纯度、热膨胀系数低和电绝缘等一系列特性，故其加工工艺要求十分严苛，尤其精烧弯管工艺绝大多数为传统的人工操作，精烧合格率和效率普遍偏低，且对作业人员的技能水平要求较高。半导体设备中的石英管型号多变，石英精烧弯管更是给操作人员带来了极大的操作困难，石英管因为型号多，尺寸要求高，弯管所需时间长，石英管精烧弯管易变形，弯管效率低，从而造成生产成本高且质量不稳定。

发明内容

为了克服上述不足，本发明提供了一种石英管弯管装置及方法，它方便了石英管的弯管操作，弯管效果好，有利于提高工作效率。

为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：一种石英管弯管装置，包括机座、安装在机座上的稳压机构和弯管驱动机构，机座上安装定位杆，定位杆上安装可移动的调节块，调节块上设有定位孔，石英管与定位孔活动插装在一起；稳压机构包括稳压罐、气管、安装座，安装座安装在机座上，石英管安装在安装座上，气管与稳压罐连通，气管与石英管一端连通，石英管另一端连接密封塞；弯管驱动机构包括连接在一起的转轴和装夹活塞缸，装夹活塞缸伸缩杆上连接装夹推块，转轴外壁上设有弯管凹槽，装夹推块和弯管凹槽对应设置，石英管装夹在弯管凹槽和装夹推块之间。

石英管弯管操作时，包括以下步骤：S1，将石英管安装到安装座和调节块之间，石英管一端延伸出安装座，石英管另一端装夹在装夹推块和弯管凹槽之间；S2，在石英管一端插入密封塞，将气管插装到石英管另一端，通过稳压罐对石英管内打压，使石英管内处于稳定正压状态；S3，打开焊枪预热石英管，并且使用焊枪高温精烧石英管的待弯管区域；S4，转轴转动实现弯管；S5，装夹活塞缸伸缩杆回位，将气管从石英管内拔出，将石英管取下，最后将石英管端部的密封塞拔出。

石英管进行弯管操作时，一端装夹在装夹推块和弯管凹槽之间，另一端安装在安装座上，且石英管插装在调节块上的定位孔中，因此石英管弯管过程定位平稳可靠。调节块可移动安装在定位杆上，便于调节安装位置，从而调整调节块与转轴之间的间距，以适应石英管的不同弯管长度。石英管一端连接密封塞，另一端连接气管，使石英管内形成稳定正压，实现管内高温精烧形变可控，防止石英管的弯管位置变形过大，造成产品报废。这种石英管弯管装置方便了石英管的弯管操作，弯管效果好，有利于提高工作效率。

作为优选，机座上和安装座对应设有滑轨，安装座可滑动安装在滑轨上。

安装座安装在滑轨上且可滑动设置，给石英管弯管操作过程中提供了偏移余量，使石英管受力弯管时有一定的偏转，避免石英管与安装座之间硬碰硬地受力导致石英管破碎。

作为优选，安装座上和石英管对应设有定位套，定位套内安装缓冲环，石英管与缓冲环套装在一起。在石英管弯管过程发生偏移时，缓冲环对石英管起到了缓冲保护作用。

作为优选，机座上安装两支座，定位杆两端分别连接在两支座上，定位杆上调节块两侧均安装定位环，定位环和定位杆之间连接锁止螺钉。

定位杆连接在两支座之间，连接方便可靠。锁止螺钉对定位环起到了很好的定位作用。