[发明专利]柔性滤波器的快速制造方法

权利要求书

1.一种柔性滤波器的快速制造方法，柔性衬底为聚酰亚胺薄膜，制造方法包括以下步骤：

(1)采用计算机进行柔性微波滤波器的仿真设计，得到柔性微波滤波器的理论结构尺寸参数；

(2)采用常温湿法工艺将步骤(1)中已完成结构设计的柔性微波滤波器制造出来，在所述常温湿法工艺中柔性衬底聚酰亚胺薄膜依次经历如下化学反应：

(3)将步骤(2)中得到的柔性带通滤波器，进行电学性能测试和/或机械性能测试，若测试结果偏离预计值，则调整参数，返回步骤(1)和/或(2)，重新制造柔性微波滤波器；若测试结果符合预计值，则将步骤(1)和(2)中的参数固定下来，进行柔性微波滤波器的批量生产。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(2)具体描述如下：

(A)使用KOH溶液对聚酰亚胺薄膜进行表面改性；

(B)使用Ag(NH₃)₂OH溶液实现对步骤(A) 得到的聚酰亚胺薄膜表面进行离子交换；

(C)在步骤(B) 得到的聚酰亚胺表面喷墨打印所需的柔性微波滤波器的图形；

(D)通过H₂O₂对步骤(C) 得到的聚酰亚胺表面进行还原处理；

(E)对步骤(D) 得到的聚酰亚胺薄膜进行清洗；

最终得到高导电、高反射性的图形化的聚酰亚胺/Ag复合薄膜。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(3)中的机械性能测试，包括但不限于：对柔性微波滤波器进行平直、弯曲、折叠、弯折、卷曲状态下的性能测试。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于：该方法中的化学工艺存在如下三种影响因素：

(I)KOH溶液处理时间对电阻率的影响；

(II)Ag(NH₃)₂OH溶液处理时间对电阻率的影响；

(III)H₂O₂溶液处理时间对电阻率的影响；

所述电阻率是指柔性微波滤波器的金属层的电阻率。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于：在步骤(3)中，调整步骤(2)中的参数具体为：通过试验快速获得所述三种影响因素。