[发明专利]清扫系统

说明书

一种清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法，能高效可靠地清扫薄板表面。清扫系统去除附着于薄板表面的异物，包括：输送薄板的输送装置；以及清扫装置，具有与通过输送装置输送的薄板表面对置地配置的清扫部，清扫装置包括相对移动机构，该相对移动机构在为了清扫而使清扫部直接或间接地接触于薄板表面的状态下使清扫部反复进行与薄板表面相对的相对性的静止动作和移动动作。优选输送装置向一方向输送利用清扫装置的清扫状态的薄板表面，相对移动机构交替地反复进行一方向的移动动作以及相反方向的移动动作，在移动动作中，由相对移动机构移动的清扫部移动的最大移动速度比由输送装置输送的薄板表面的移动速度快。

本申请是申请日为2018年07月06日、申请号为201810738124.8、发明名称为“清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法”的专利申请的分案申请，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法。

背景技术

在便携电话、智能电话等电子设备中，使用玻璃基板。在电子设备的生产线中，作为对玻璃基板的表面进行清扫的清扫系统，已知有例如日本特开2006－272223号公报所记载的清扫系统。该公报所记载的系统为，在刮板上覆盖织物，一边通过刮板将织物(cloth)按压到玻璃基板上一边使玻璃基板移动，由此对玻璃基板的表面进行清扫。在该公报所记载的系统中，反复进行3次使刮板从玻璃基板的一端向另一端相对移动的动作。

专利文献1：日本特开2006－272223号公报

但是，当在玻璃基板的表面上附着有粘接剂等那样粘性较高的异物的情况、油等附着于玻璃基板的中央的情况下，存在如上述公报所记载的系统那样仅通过3次擦除也不能擦除的情况。

另外，在上述公报所记载的系统中，在将刮板从玻璃基板的一端向另一端相对移动后，为了下一擦除动作，再次将刮板返回到玻璃基板的一端后进行擦除动作，所以作业效率较差，为了对大量的玻璃基板进行擦除作业，需要非常长的时间。

发明内容

因此，本发明的技术问题在于提供一种能够高效可靠地清扫薄板表面的清扫系统及清扫方法以及电子设备的制造方法。

为了解决上述技术问题而完成的发明是一种清扫系统，将附着于薄板表面的异物去除，该清扫系统包括：

输送装置，输送所述薄板；以及

清扫装置，具有与通过所述输送装置输送的所述薄板表面对置地配置的清扫部，

所述清扫部的清扫面的至少一部分为如下形状：随着朝向所述薄板的输送方向而在所述薄板的厚度方向上弯曲。

在该清扫系统中，所述清扫部的清扫面的至少一部分为如下形状：随着朝向所述薄板的输送方向而在所述薄板的厚度方向上弯曲。即，例如，所述清扫部的清扫面的至少一部分为在所述输送方向上的截面是半圆状。由此，能够减小所述清扫部的清扫面与所述薄板表面之间的接触面积。因此，在所述薄板的输送中的阻力减小，从而能够确保高效率地清扫所述薄板表面。

优选所述清扫部在与所述薄板的输送方向及所述薄板的厚度方向双方正交的方向上成为与所述薄板相对应的形状。即，优选在所述薄板表面的与所述薄板的输送方向正交的方向(所述薄板的宽度方向)上与所述清扫部的形状相对应。由此，能够确保高效率地进行所述薄板表面的宽度方向上的清扫。