[发明专利]一种晶圆片厚度分选系统

权利要求书

1.一种晶圆片厚度分选系统，其特征在于：包括厚度检测组件(500)和分选组件(300)，所述分选组件(300)包括晶圆输入机构(410)和晶圆片存储机构(440)，所述厚度检测组件(500)检测后的晶圆输送至晶圆输入机构(410)，所述晶圆片存储机构(440)包括对称设置的至少一组输送带(4126)，至少一组所述输送带(4126)的相对侧面设有相对应的用于支撑晶圆(4150)的固定齿(4127)，至少一组所述输送带(4126)的两端分别设有顶部传感器(4132)和底部传感器(4113)，所述顶部传感器(4132)用于检测输送带(4126)的顶部是否有晶圆(4150)，所述底部传感器(4113)用于检测是否有固定齿(4127)经过。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片厚度分选系统，其特征在于：所述分选组件(300)内设有若干均匀分布的晶圆片存储机构(440)，若干所述晶圆片存储机构(440)外围设有对称平行的晶圆输入机构(410)和晶圆输出机构(310)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片厚度分选系统，其特征在于：所述分选组件(300)还设有收纳盒(320)，所述收纳盒(320)设置于所述晶圆输入机构(410)的远离厚度检测组件(500)的一端，所述收纳盒(320)用于接收所述晶圆输入机构(410)末端掉落的晶圆片。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆片厚度分选系统，其特征在于：所述晶圆输入机构(410)的运输轨迹上设有用于检测晶圆片完整度的检测机构(520)。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆片厚度分选系统，其特征在于：所述晶圆输出机构(310)的出口连接有导片组件一(200)，所述导片组件一(200)包括晶圆转运机构一(210)、导片机构一(220)、导片升降机构一(230)，所述晶圆转运机构一(210)与所述晶圆输出机构(310)对接，所述导片升降机构一(230)驱动所述导片机构一(220)移动，所述导片机构一(220)转接所述导片升降机构一(230)与所述晶圆转运机构一(210)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆片厚度分选系统，其特征在于：所述晶圆转运机构一(210)连接有传输组件一(100)，所述传输组件一(100)包括放置待存储晶圆盒一(130)的上料传输机构一(110)和放置已存储晶圆盒一(140)的下料传输机构一(120)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆片厚度分选系统，其特征在于：所述厚度检测组件(500)包括固定支架(510)和若干个并排设置的检测机构(520)，所述固定支架(510)上设有若干个高度调节机构(530)，所述检测机构(520)分别设置于单独的高度调节机构(530)。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆片厚度分选系统，其特征在于：所述厚度检测组件(500)对称分选组件(300)的一侧设有导片组件二(600)，所述导片组件二(600)设有晶圆转运机构二(610)、导片机构二(620)和导片升降机构二(630)，所述晶圆转运机构二(610)向外延伸与厚度检测组件(500)连接，所述导片升降机构二(630)驱动所述导片机构二(620)移动，所述导片机构二(620)转接所述导片升降机构二(630)与所述晶圆转运机构二(610)。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆片厚度分选系统，其特征在于：所述导片机构二(620)连接有传输组件二(700)，所述传输组件二(700)包括放置待拿取晶圆盒(740)的上料传输机构二(720)和放置已拿取晶圆盒(730)的下料传输机构二(710)，所述上料传输机构二(720)和下料传输机构二(710)通过竖直移动机构(760)转接。