[发明专利]一种高响应高热稳定性二氧化锡传感器及制备方法

权利要求书

1.一种高响应高热稳定性二氧化锡传感器，其特征在于，包括：基底、叉指型金属电极层、传感导电体，叉指型金属电极层位于基底的上表面，传感导电体位于叉指型金属电极层的上表面，传感导电体为SnO₂薄膜材料，传感导电体用于检测高温环境中的气体含量。

2.如权利要求1所述的高响应高热稳定性二氧化锡传感器，其特征在于，基底采用绝缘材料制成，叉指型金属电极层是在基底上由微电子工艺制成的铂金电极，铂金电极为叉指型。

3.如权利要求2所述的高响应高热稳定性二氧化锡传感器，其特征在于，传感导电体为SnO₂薄膜材料，SnO₂薄膜材料由纳米杆组成，SnO₂薄膜表面带有瘤节点。

4.如权利要求3所述的高响应高热稳定性二氧化锡传感器，其特征在于，传感导电体为SnO₂薄膜材料，SnO₂薄膜材料均匀地位于叉指型金属电极层的上表面。

5.如权利要求4所述的高响应高热稳定性二氧化锡传感器，其特征在于，还包括保护外壳，保护外壳上设有若干个用于通气的孔洞。

6.一种高响应高热稳定性二氧化锡传感器制备方法，其特征在于，包括步骤：

S1、称量0.35g SnCl₄·5H₂O将其溶解于溶液A中，溶液A由10ml去离子水与10ml乙醇配制而成；

S2、采用PH＝13的NaOH溶液调节溶液A的PH值，直到溶液A的PH＝4为止，得到溶液B；

S3、将溶液B倒入反应釜中进行水热反应，水热反应的温度为220℃，反应时间为12h，水热反应结束后得到溶液C；

S4、将溶液C洗涤至中性，得到溶液D；

S5、将溶液D放入离心管中进行离心处理，离心处理后将溶液D取出并放入80℃干燥箱中进行干燥并得到白色沉淀；

S6、对白色沉淀进行研磨，得到SnO₂粉末；

S7、将得到的SnO₂粉末放置在管式炉中进行热处理，热处理的温度为600℃、时间为5h，得到SnO₂薄膜材料。