[发明专利]一种全自动激光蚀刻机

说明书

本发明公开了一种全自动激光蚀刻机，涉及激光蚀刻技术领域，包括蚀刻机本体，包括蚀刻机本体，所述蚀刻机本体的底部固定连接有处理箱，所述蚀刻机本体与处理箱之间设有用于抽废气的第一气泵，所述处理箱的底部固定连接有两根立柱，一根所述立柱内部转动连接有第一丝杆，所述第一丝杆上通过螺纹连接有滑块，所述滑块的一端延伸至立柱的外侧并固定连接有支撑板，该全自动激光蚀刻机，通过设置有双向丝杆、传动齿轮与移动块，使得支撑板下移时，齿条使得传动齿轮转动，使得移动块移动，从而使得卡块与卡槽充卡接状态下脱离，从而使得在支撑板下移的过程中，限位块自动解锁，从而方便操作人员将吸附板取下进行清理。

技术领域

本发明涉及激光蚀刻技术领域，具体为一种全自动激光蚀刻机。

背景技术

激光具有单色性好、方向性强、亮度高等特点。现已发现的激光工作物质有几千种，波长范围从软X射线到远红外。 激光技术的核心是激光器，激光器的种类很多，可按工作物质、激励方式、运转方式、工作波长等不同方法分类。根据不同的使用要求，采取一些专门的技术提高输出激光的光束质量和单项技术指标，比较广泛应用的单元技术有共振腔设计与选模、倍频、调谐、Q开关、锁模、稳频和放大技术等。激光蚀刻技术比传统的化学蚀刻技术工艺简单、可大幅度降低生产成本，可加工0.125～1微米宽的线，非常适合于超大规模集成电路的制造。

激光蚀刻机在加工工件的过程中会产生大量的有毒烟气，不仅会对工件的加工造成不良影响，同时既污染环境又腐蚀机器，故需要采用吸附板对烟气进行吸附以降低对环境的污染和对机器的腐蚀，但是现有的吸附板解锁取出较为困难，既浪费时间又较为麻烦；同时随着设备的运行，设备内壁上会积附过多的灰尘杂质，影响本机的正常运行。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种全自动激光蚀刻机，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种全自动激光蚀刻机，包括蚀刻机本体，所述蚀刻机本体的底部固定连接有处理箱，所述蚀刻机本体与处理箱之间设有用于抽废气的第一气泵，所述处理箱的底部固定连接有两根立柱，一根所述立柱内部转动连接有第一丝杆，所述第一丝杆上通过螺纹连接有滑块，所述滑块的一端延伸至立柱的外侧并固定连接有支撑板，另一根所述立柱内腔内固定连接有齿条，所述支撑板内部开设有传动槽，所述传动槽内腔转动连接有双向丝杆，所述双向丝杆的一端套接有传动齿轮，所述传动齿轮与齿条啮合连接，所述双向丝杆螺纹方向相反处的外侧均通过螺纹连接有移动块，移动块上设有卡块，处理箱底部开设有通槽，所述通槽内设有限位块，限位块上设有卡槽，所述卡槽与卡块相配合，限位块上固定连接有吸附板，吸附板的顶端延伸至处理箱内部，支撑板内设有固定块，固定块与限位块之间连接有弹簧。

可选的，所述处理箱的一侧固定连接有保护罩，所述第一丝杆的外侧且位于滑块的上方固定套接有蜗轮，所述立柱内腔的一侧转动连接有蜗杆，所述蜗杆的一端延伸至保护罩内部并固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧通过螺纹连接有第一推板，所述第一推板的顶部固定连接有第二推板，所述保护罩内转动连接有贯穿第一推板的花键轴，所述螺纹杆上固定套接有第一连接齿轮，所述花键轴上固定套接有与第一连接齿轮啮合的第二连接齿轮；

所述第一推板的一侧设置有连接块，所述连接块的内腔且位于花键轴的外侧设置有限定块；

所述花键轴上设置有第一皮带轮，所述第一皮带轮与限定块固定连接，所述第二推板转动连接有转动杆，所述转动杆为中空结构，所述转动杆的外侧设置有若干吸孔，所述转动杆的外侧固定套接有第二皮带轮，所述第二皮带轮与第一皮带轮通过皮带传动连接，所述转动杆的外侧固定连接有若干个清洁刷。