[发明专利]微小物检测装置

权利要求书

1.一种微小物检测装置，其中，

所述微小物检测装置具有第1光学系统和第2光学系统，

所述第1光学系统包含第1反射区域、第2反射区域、第1穿过区域、第2穿过区域和第1受光元件，所述第1光学系统利用所述第1反射区域和所述第2反射区域对照射光照到粒子而散射的散射光进行反射，由此将该散射光引导至所述第1受光元件，

所述第2光学系统穿过所述第2穿过区域从所述粒子直接取入照到所述粒子而散射的所述散射光的一部分，根据所述取入的散射光检测所述粒子的光学特性，

通过在所述第2反射区域设置所述第1穿过区域，将所述散射光引导至所述第1受光元件，通过在所述第1反射区域设置所述第2穿过区域，将所述散射光引导至所述第2光学系统，

所述第2穿过区域位于与所述第1穿过区域对置的位置，并且位于所述第1反射区域内被由所述第2反射区域中的所述第1穿过区域的周缘反射的所述散射光到达的点包围的区域的内侧。

2.根据权利要求1所述的微小物检测装置，其中，

所述第2光学系统检测所述取入的散射光的光量、偏振和波长中的至少任意一个，作为所述粒子的光学特性。

3.根据权利要求1或2所述的微小物检测装置，其中，

所述第2光学系统将被引导至所述第2光学系统的散射光分离成不同的偏振分量，检测该分离后的散射光的强度。

4.根据权利要求3所述的微小物检测装置，其中，

根据被分离成所述偏振分量的散射光的强度，判别所述粒子是否为球形形状或者所述粒子是否为球形形状以外的形状。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的微小物检测装置，其中，

所述第1光学系统检测所述散射光中的波长与所述照射光的波长不同的光。

6.根据权利要求5所述的微小物检测装置，其中，

所述第1光学系统检测所述散射光中包含的荧光。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的微小物检测装置，其中，

所述第2光学系统检测所述散射光中的波长与所述照射光的波长不同的光。

8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的微小物检测装置，其中，

所述第1反射区域为椭圆面形状的，利用椭圆面形状的2个焦点的位置来反射从所述粒子到达的散射光并将该散射光引导至所述第1受光元件。

9.根据权利要求8所述的微小物检测装置，其中，

所述第2反射区域反射从所述粒子到达的散射光并将该散射光引导至所述第1反射区域，该散射光被所述第1反射区域反射而被引导至所述第1受光元件。

10.根据权利要求9所述的微小物检测装置，其中，

所述第2反射区域为球面形状的。

11.根据权利要求1～9中的任意一项所述的微小物检测装置，其中，

所述第2反射区域为非球面形状的。

12.根据权利要求1～11中的任意一项所述的微小物检测装置，其中，

所述第2穿过区域为圆形形状的。

13.根据权利要求1～12中的任意一项所述的微小物检测装置，其中，

所述第2光学系统仅取入某个固定方向的散射光，

所述第1光学系统取入范围比所述第1光学系统的检测方向宽的散射光。

14.根据权利要求1～13中的任意一项所述的微小物检测装置，其中，

所述第1光学系统取入侧方散射光、前方散射光和后方散射光，

所述第2光学系统仅取入侧方散射光、前方散射光和后方散射光中的任意一方。