[发明专利]玻璃

说明书

本发明的玻璃，其特征在于，包含SiO₂、Al₂O₃、B₂O₃及RO(RO为MgO、CaO、SrO、BaO中的1种或2种以上)作为玻璃组成，且在从液相线温度至(液相线温度‑50℃)的温度范围内，析出的晶体为SiO₂‑Al₂O₃‑RO系晶体、SiO₂系晶体、SiO₂‑Al₂O₃系晶体中的2种以上。

本申请是申请人提交的申请号为201480022055.0、PCT申请号为PCT/JP2014/067889，发明名称为“玻璃”的申请的分案申请。母案申请日为2014年7月4日，优先权日为2013年7月11日。

技术领域

本发明涉及玻璃，具体而言，涉及适用于有机EL(OLED)显示器、液晶显示器的基板的玻璃。进一步涉及适用于氧化物TFT、低温p-Si·TFT(LTPS)驱动的显示器的基板的玻璃。

背景技术

一直以来，玻璃作为液晶显示器等平板显示器、硬盘、过滤器、传感器等的基板得到广泛应用。近年来，除了现有的液晶显示器，OLED显示器因自发光、较高的色再现性、高视场角、快速响应、高精细等原因被广为开发，同时，已经有一部分OLED显示器实现了实用化。此外，对于智能手机等移动机器的液晶显示器、OLED显示器而言，除了要求面积小，还要求显示较多的信息，因此，需要超高精细的画面。进一步地，为了进行动画显示，还需要快速响应。

在上述用途中，优选OLED显示器、或LTPS驱动的液晶显示器。OLED显示器通过在构成像素的OLED元件中流过电流而发光。因此，作为驱动TFT元件，使用低电阻、高电子迁移率的材料。作为这样的材料，除了上述的LTPS以外，以IGZO(铟、镓、锌氧化物)为代表的氧化物TFT备受注目。氧化物TFT为低电阻、高迁移率，且可在较低的温度下形成。现有的p-Si·TFT、特别是LTPS，起因于对非晶体Si(a-Si)的膜进行多晶体化时所使用的准分子激光的不稳定性，大面积的玻璃板中形成元件时容易产生TFT特性的不均，在TV用途等中，容易产生画面的显示斑点。另一方面，关于氧化物TFT，在大面积的玻璃板上形成元件时，TFT特性的均质性优异，因此，作为有力的TFT形成材料备受注目，已经有一部分氧化物TFT实现了实用化。

发明内容

发明要解决的问题

对于在高精细的显示器的基板中使用的玻璃，要求较多的特性。特别是，要求以下(1)～(5)的特性。

(1)若玻璃中的碱成分较多，则在热处理中，碱离子会向已成膜的半导体物质中扩散，导致膜特性的劣化。因此，要求碱成分(特别是，Li成分、Na成分)的含量较低，或者实质上不含碱成分。

(2)在光刻工序中，将使用各种酸、碱等试剂。因此，要求耐药品性优异。

(3)在成膜、退火等工序中，将在数百℃的温度下对玻璃板进行热处理。热处理时，玻璃板一旦发生热收缩，就容易发生图案错位等。因此，要求不易发生热收缩，特别是应变点较高。

(4)要求热膨胀系数和在玻璃板上成膜的部件(例如，a-Si、p-Si)接近。例如，要求热膨胀系数为30～40×10^-7/℃。需要说明的是，若热膨胀系数为40×10^-7/℃以下，则耐热冲击性也可得到提高。

(5)为了抑制因玻璃板的挠曲导致的不良状况，要求杨氏模量(或比杨氏模量)较高。

进一步地，从制作玻璃板的观点出发，对玻璃要求以下(6)、(7)的特性。

(6)为了防止气泡、白点(ブ少)、纹理等熔融缺陷，要求熔融性优异。

(7)为了避免在玻璃板中产生异物，要求耐失透性优异。