[发明专利]一种大尺寸单晶预调温系统及其装置在审
申请号: | 202110450432.2 | 申请日: | 2021-04-25 |
公开(公告)号: | CN113279052A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 杨昊;赵文祺;黄怀玉;杨剑 | 申请(专利权)人: | 弘元新材料(包头)有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B15/32;C30B29/06 |
代理公司: | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人: | 张燕平 |
地址: | 014030 内蒙古自治区包头*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 单晶预 调温 系统 及其 装置 | ||
1.一种大尺寸单晶预调温装置,其特征在于:包括中心搭载支架(1)和自热单晶定装结构(3),所述中心搭载支架(1)的底端固定连接有自热单晶定装结构(3),所述自热单晶定装结构(3)用于对引晶的固定和调温加工,还包括辅助自动化卡紧结构(4),所述辅助自动化卡紧结构(4)固定于中心搭载支架(1)的一端,所述辅助自动化卡紧结构(4)用于对引晶进行自动化防脱落夹紧。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸单晶预调温装置,其特征在于:所述自热单晶定装结构(3)包括单晶装配管(5)、蓄热输出箱体(6)、内装定位板(7)、电热管(8)、蓄热导出块(9)、循环引热连接管(10)和蓄热内槽(11),所述单晶装配管(5)的一端固定连接有蓄热输出箱体(6),所述蓄热输出箱体(6)内侧的顶端和底端均焊接有内装定位板(7),所述内装定位板(7)之间固定有多个电热管(8),所述蓄热输出箱体(6)的顶端和底端均固定连接有蓄热导出块(9),所述蓄热导出块(9)的顶端固定连接有循环引热连接管(10),所述单晶装配管(5)的内侧开设有蓄热内槽(11),所述循环引热连接管(10)与蓄热内槽(11)内侧焊接连接,所述蓄热导出块(9)的材质和单晶装配管(5)的材质均为铜。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸单晶预调温装置,其特征在于:所述辅助自动化卡紧结构(4)包括动导输出结构(12)、同步夹紧输出结构(13)和防脱落卡紧结构(14),所述动导输出结构(12)的一端固定连接有同步夹紧输出结构(13),所述同步夹紧输出结构(13)的一端固定连接有防脱落卡紧结构(14),所述动导输出结构(12)用于动力提供,所述同步夹紧输出结构(13)用于配动完成自动化夹持,所述防脱落卡紧结构(14)用于防脱落限定。
4.根据权利要求3所述的一种大尺寸单晶预调温装置,其特征在于:所述动导输出结构(12)包括配装支撑基座(15)、引导动力块(16)、电机(17)、输出拨动齿轮(18)和同步带动齿条(19),所述引导动力块(16)的顶端和底端均焊接有配装支撑基座(15),所述引导动力块(16)的一端的底部通过螺钉固定连接有电机(17),所述电机(17)的输出端固定连接有输出拨动齿轮(18),所述引导动力块(16)远离电机(17)一端的内部滑动连接有同步带动齿条(19),所述同步带动齿条(19)的一端与输出拨动齿轮(18)啮合连接。
5.根据权利要求4所述的一种大尺寸单晶预调温装置,其特征在于:所述同步夹紧输出结构(13)包括辅助引导滑杆(20)、第一同步轴套(21)、受力带动推板(22)、同步夹紧推板(23)、第二同步轴套(24)、联动夹紧推板(25)、内装支撑杆(26)和拨动转轴带动杆(27),所述配装支撑基座(15)的一端焊接有辅助引导滑杆(20),所述辅助引导滑杆(20)一端的内侧焊接有内装支撑杆(26),所述辅助引导滑杆(20)一侧的外侧滑动连接有第一同步轴套(21),所述第一同步轴套(21)的一侧焊接有受力带动推板(22),所述同步带动齿条(19)的一端与受力带动推板(22)焊接连接,所述第一同步轴套(21)的另一侧焊接有同步夹紧推板(23),所述同步夹紧推板(23)的顶端和底端均转动连接有拨动转轴带动杆(27),所述拨动转轴带动杆(27)与内装支撑杆(26)转动连接,所述辅助引导滑杆(20)的另一侧滑动连接有第二同步轴套(24),所述第二同步轴套(24)的一端焊接有联动夹紧推板(25),所述拨动转轴带动杆(27)的另一侧与联动夹紧推板(25)转动连接。
6.根据权利要求5所述的一种大尺寸单晶预调温装置,其特征在于:所述防脱落卡紧结构(14)包括防抖脱落卸力支撑结构、第一卡紧锁箍(28)和第二卡紧锁箍(29),所述同步夹紧推板(23)的一端及联动夹紧推板(25)内侧的一端均焊接有防抖脱落卸力支撑结构,位于所述同步夹紧推板(23)一端的防抖脱落卸力支撑结构的一端焊接有第一卡紧锁箍(28),位于所述联动夹紧推板(25)内侧一端的防抖脱落卸力支撑结构的一端焊接有第二卡紧锁箍(29),所述第一卡紧锁箍(28)与第二卡紧锁箍(29)卡接。
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