[发明专利]一种高灵活性的非晶合金表面大面积微结构制备方法

权利要求书

1.一种高灵活性的非晶合金表面大面积微结构制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)对块体锆基非晶合金Zr_41.2Ti_13.8Cu_12.5Ni₁₀Be_22.5材料表面进行研磨抛光处理，去除表面氧化层，之后依次在乙醇和去离子水中进行超声波清洗，利用冷风吹干得到洁净的非晶合金表面；

(2)以氩气作为保护气体，对步骤(1)所得的非晶合金表面以设定的激光辐照参数进行纳秒激光点辐照，获得单点微凸起结构；所述的激光辐照参数为：激光波长为1064nm，脉宽7ns，重复频率800kHz，光斑直径43μm，峰值激光功率强度7.5 × 10¹¹W/m²，激光脉冲数800次，氩气压强0.01MPa；

(3)将非晶合金取下，利用激光共聚焦显微镜测得单点微凸起结构的直径，并根据所需制备大面积微结构的形状和尺寸要求确定相邻辐照点间的相对位置，随后在计算机软件中绘制相应的图案；

(4)借助于计算机程序控制激光束的轨迹实现步骤(3)中绘制的图案的加工，最终在非晶合金表面制备大面积微结构。