[发明专利]腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀

权利要求书

1.一种腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀，其特征在于：包括阀座(1)、阀芯(2)、外套(3)、垫片(4)、主极靴(5)、限位片(6)、线圈组件、磁环导套组件、衔铁(11)、导磁外壳(12)和内隔层(13)；阀座(1)内部的两侧分别设有入口流道和出口流道，阀座(1)上固定安装有外套(3)，外套(3)内部和阀座(1)之间形成阀腔，入口流道和出口流道均连通到阀腔；阀腔周围的内壁设置有导磁外壳(12)，导磁外壳(12)套装有线圈组件，线圈组件上方的导磁外壳(12)内设有永磁体(14)或者次极靴(19)，线圈组件上方的导磁外壳(12)内设有主极靴(5)；主极靴(5)中心开设有用于阀芯(2)贯穿过的竖直通孔，主极靴(5)底面设有垫片(4)，垫片(4)通过阀座(1)顶面的环形凸台支撑，使得垫片(4)和阀座(1)底面之间具有间隔形成活动过渡腔；线圈组件内周面布置有磁环导套组件，磁环导套组件内装有内隔层(13)，内隔层(13)内装有衔铁(11)，衔铁(11)下端和阀芯(2)上端固定连接，阀芯(2)活动穿过主极靴(5)中心的竖直通孔后伸入到垫片(4)和阀座(1)之间的活动过渡腔中；阀芯(2)下端位于阀座(1)入口流道的出口的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀，其特征在于：所述的线圈组件通过主极靴(5)和永磁体(14)/次级线圈(17)的辅助结构在磁环导套组件内形成磁场，磁场施加到衔铁(11)带动衔铁(11)及其连接的阀芯(2)上下升降移动，进而控制阀芯(2)下端堵住阀座(1)入口流道的出口的是否，控制衔铁(11)所受磁力与重力平衡，衔铁(11)稳定在行程内的任一位置并保持开度，最终实现超洁净阀在无弹性元件下的开闭和开度控制。

3.根据权利要求1或2所述的一种腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀，其特征在于：所述的阀芯(2)下端面设有内凹槽，阀座(1)入口流道的出口在阀座(1)表面设有凸台，在阀芯(2)落下到入口流道的出口处时，凸台嵌入到内凹槽，使得阀芯(2)封堵住阀座(1)入口流道的出口。

4.根据权利要求1所述的一种腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀，其特征在于：所述的线圈组件主要由主线圈(7)构成；所述的磁环导套组件主要由从下到上依次设置的前导套(8)、主隔磁环(9)和后导套(10)构成，前导套(8)、主隔磁环(9)和后导套(10)在同一圆周上下布置，主隔磁环(9)位于前导套(8)和后导套(10)之间。

5.根据权利要求1所述的一种腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀，其特征在于：所述的线圈组件主要由从下到上依次布置的主线圈(7)、导磁环(16)、次级线圈(17)构成；所述的磁环导套组件主要由从下到上依次设置的前导套(8)、主隔磁环(9)、中导套(15)、次隔磁环(18)、后导套(10)构成，各个隔磁环和各个导套均在同一圆周上下布置，主隔磁环(9)位于前导套(8)和中导套(15)之间，次隔磁环(18)位于中导套(15)和后导套(10)之间。

6.根据权利要求1所述的一种腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀，其特征在于：所述的衔铁(11)表面涂覆超洁净涂层。

7.根据权利要求1所述的一种腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀，其特征在于：所述的衔铁(11)为环形，环形的底部和阀芯(2)上端固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀，其特征在于：所述的磁环导套组件内的主极靴(5)上表面和主极靴(5)通孔的孔壁表面均设有限位片(6)，限位片(6)位于内隔层(13)下方。