[发明专利]一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置及方法

权利要求书

1.一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置，其特征在于，沿激光光束传播路径依次包括：激光器、扩束镜、自适应光学系统、激光切割头和加工平台，所述加工平台上固定有待切割的毛玻璃工件；所述自适应光学系统包括波前探测器、波前控制器和波前校正器，所述波前探测器用于实时检测待切割毛玻璃的表面形貌，并将检测到的表面形貌数据实时反馈至波前控制器，所述波前控制器根据表面形貌数据控制波前校正器对激光的相位进行调制；

所述波前探测器检测待切割毛玻璃表面形貌的方法为：通过测量毛玻璃表面的波前斜率来获得波前相位信息，利用得到的波前上多个点的斜率，根据波前重构的方法得到整个波前的相位分布。

2.根据权利要求1所述的一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置，其特征在于，所述激光器采用脉宽为5～15ps的皮秒激光器。

3.根据权利要求1所述的一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置，其特征在于，所述激光切割头为贝塞尔切割头。

4.根据权利要求1所述的一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置，其特征在于，所述加工平台为三维位移运动平台。

5.根据权利要求1所述的一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置，其特征在于，所述加工平台上设有夹具，用于将待切割的毛玻璃工件固定在加工平台上。

6.一种基于自适应光学的毛玻璃切割方法，基于权利要求1至5任一项所述的切割装置，其特征在于，包括以下步骤：

S1，将待切割的毛玻璃工件固定在加工平台上；

S2，开启激光器、自适应光学系统和激光切割头，调整激光光路，使激光切割头出射的激光束垂直于待切割工件表面；

S3，将激光焦点调节到待切割工件表面；

S4，在切割过程中，通过自适应光学系统实时检测工件的表面形貌，并根据所述表面形貌数据实时调整激光的相位；

S5，切割完成后，采用裂片装置对切割完的工件进行裂片处理。

7.根据权利要求6所述的一种基于自适应光学的毛玻璃切割方法，其特征在于，步骤S3中，调节激光焦点位置，使激光切割头出射的激光束在工件正面和背面的光斑大小一致。